[发明专利]元件基板有效
申请号: | 201811317756.3 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN109326615B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 柯聪盈;蓝咏翔;刘京桦;康婷;郑贵宁 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元件 | ||
一种元件基板,包括可挠式基板、多条扫描线、多条数据线、第一绝缘层、多个主动元件以及缓冲结构。多条扫描线位于可挠式基板上,且沿着第一方向延伸。多条数据线位于可挠式基板上,且沿着第二方向延伸。第一方向交错于第二方向。第一绝缘层位于扫描线与数据线之间。多个主动元件电性连接至扫描线以及数据线。缓冲结构位于可挠式基板上,且包括多条第一缓冲线以及多条第二缓冲线。多条第一缓冲线沿着第三方向延伸。多条第二缓冲线沿着第四方向延伸。第三方向交错于第四方向。
技术领域
本发明涉及一种元件基板,且特别涉及一种包括可挠式基板的元件基板。
背景技术
随着科技的进展,可挠式电子产品在市面上的出现率逐渐增加,且各种有关的技术也层出不穷。可挠式电子产品通常是先于硬质的基板上制造,于后段工艺(Back end ofline,BEOL)时再将硬质的基板移除。然而,在移除硬质的基板时,可挠式电子产品容易因为应力拉扯而造成变形,使得可挠式电子产品要与其他元件接合时无法精准对位,影响产品的良率。
发明内容
本发明提供一种元件基板,可以改善其因为应力拉扯而造成变形的问题。
本发明的至少一实施例提供一种元件基板,包括可挠式基板、多条扫描线、多条数据线、第一绝缘层、多个主动元件以及缓冲结构。多条扫描线位于可挠式基板上,且沿着第一方向延伸。多条数据线位于可挠式基板上,且沿着第二方向延伸。第一方向交错于第二方向。第一绝缘层位于扫描线与数据线之间。多个主动元件电性连接至扫描线以及数据线。缓冲结构位于可挠式基板上。缓冲结构包括多条第一缓冲线以及多条第二缓冲线。多条第一缓冲线沿着第三方向延伸。多条第二缓冲线沿着第四方向延伸。第三方向交错于第四方向。第一方向、第二方向、第三方向以及第四方向互相不同。
基于上述,缓冲结构可以使元件基板所受到的应力分散到二维平面,可以改善元件基板因为应力拉扯而造成变形的问题。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合说明书附图作详细说明如下。
附图说明
图1A是依照本发明的一实施例的一种元件基板的俯视图。
图1B是图1A的一种元件基板的局部放大示意图。
图1C是图1B剖面线aa’的剖面示意图。
图2是依照本发明的一实施例的一种元件基板的上视局部放大示意图。
图3是依照本发明的一实施例的一种元件基板的上视局部放大示意图。
图4是依照本发明的一实施例的一种元件基板的俯视图。
图5是依照本发明的一实施例的一种元件基板的俯视图。
图6A是依照本发明的一实施例的一种元件基板的上视局部放大示意图。
图6B是图6A剖面线bb’的剖面示意图。
图7是依照本发明的一实施例的一种元件基板的剖面示意图。
图8是依照本发明的一实施例的一种元件基板的剖面示意图。
附图标记说明:
10、20、30、40、50、60、70、80:元件基板
AR:主动区
AL:配向层
aa’、bb’:剖面线
B:缓冲结构
B1:第一缓冲线
B2:第二缓冲线
BR:周边区
CE:共用电极
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的