[发明专利]一种显微成像系统对焦面快速标定、对焦定位方法及装置

权利要求书

1.一种显微成像系统对焦面快速标定方法，其特征在于，包括：

选取待检测屏幕的四个端点和中心点作为标定点，所述标定点将所述待检测屏幕划分为四个三角形的平面区域；

建立四个所述平面区域的平面方程；

求解所述平面方程，得到平面方程系数。

2.根据权利要求1所述的显微成像系统对焦面快速标定方法，其特征在于，所述求解平面方程，得到平面方程系数的步骤，包括：

获取所述待检测屏幕的相邻两个端点收敛坐标和中心点收敛坐标；

将所述相邻两个端点收敛坐标和所述中心点收敛坐标代入所述平面方程，得到平面方程系数。

3.根据权利要求2所述的显微成像系统对焦面快速标定方法，其特征在于，所述获取待检测屏幕的相邻两个端点收敛坐标和中心点收敛坐标的步骤，包括：

将显微成像系统移动至所述端点或所述中心点，按脉冲间隔采集图像；

计算所述图像的清晰度；

选取最高清晰度图像对应的位置作为对焦面；

判断所述最高清晰度图像是否为第一张图像或最后一张图像；

如果所述最高清晰度图像不是第一张图像或最后一张图像，选取最高清晰度图像对应的位置坐标作为收敛坐标。

4.根据权利要求3所述的显微成像系统对焦面快速标定方法，其特征在于，所述获取待检测屏幕的相邻两个端点收敛坐标和中心点收敛坐标的步骤，还包括：

如果所述最高清晰度图像是第一张图像或最后一张图像，放大脉冲跳转范围，重新采集图像；

重复执行计算所述图像的清晰度的步骤，直至选取最高清晰度图像对应的位置坐标作为收敛坐标。

5.一种显微成像系统对焦定位方法，其特征在于，包括：

获取待对焦点的缺陷坐标；

根据所述缺陷坐标判定所述待对焦点所在平面区域；

根据所述待对焦点所在平面区域的平面方程及所述缺陷坐标，确定所述待对焦点与待检测屏幕的距离；所述平面区域的平面方程由权利要求1-4任一项所述的显微成像系统对焦面快速标定方法中的平面方程系数生成。

6.一种显微成像系统对焦面快速标定装置，所述装置用于执行权利要求1-4任一项所述的显微成像系统对焦面快速标定方法，其特征在于，包括：

标定点选取单元，用于选取待检测屏幕的四个端点和中心点作为标定点，所述标定点将所述待检测屏幕区域划分为四个三角形的平面区域；

平面方程建立单元，用于建立四个所述平面区域的平面方程；

平面方程求解单元，用于求解所述平面方程，得到平面方程系数。

7.根据权利要求6所述的显微成像系统对焦面快速标定装置，其特征在于，所述平面方程求解单元包括：

收敛坐标获取单元，用于获取所述待检测屏幕的相邻两个端点收敛坐标和中心点收敛坐标；

平面方程求解子单元，用于将所述相邻两个端点收敛坐标和所述中心点收敛坐标代入所述平面方程，得到平面方程系数。

8.根据权利要求7所述的显微成像系统对焦面快速标定装置，其特征在于，所述收敛坐标获取单元包括：

采集单元，用于将显微成像系统移动至所述端点或所述中心点，按脉冲间隔采集图像；

计算单元，用于计算所述图像的清晰度；

对焦面选取单元，用于选取最高清晰度图像对应的位置作为对焦面；

判断单元，用于判断所述最高清晰度图像是否为第一张图像或最后一张图像；

收敛坐标选取单元，用于如果所述最高清晰度图像不是第一张图像或最后一张图像，选取最高清晰度图像对应的位置坐标作为收敛坐标。

9.根据权利要求8所述的显微成像系统对焦面快速标定装置，其特征在于，所述收敛坐标获取单元还包括：

放大单元，用于如果所述最高清晰度图像是第一张图像或最后一张图像，放大脉冲跳转范围，重新采集图像；

重复执行单元，用于重复执行计算所述图像的清晰度的步骤，直至选取最高清晰度图像对应的位置坐标作为收敛坐标。

10.一种显微成像系统对焦定位装置，其特征在于，包括：

缺陷坐标获取单元，用于获取待对焦点的缺陷坐标；

判定单元，用于根据所述缺陷坐标判定所述待对焦点所在平面区域；

确定单元，用于根据所述待对焦点所在平面区域的平面方程及所述缺陷坐标，确定所述待对焦点与待检测屏幕的距离；所述平面区域的平面方程由权利要求6-9任一项所述的显微成像系统对焦面快速标定装置中的平面方程系数生成。