[发明专利]激光切割装置及激光切割方法

说明书

本发明提供一种激光切割装置及激光切割方法。本发明的激光切割装置，用于对掩膜板上的边角料进行切割去除，包括激光枪及激光变位器；使用时，通过所述激光变位器感知是否有边角料的存在，所述激光枪根据激光变位器的感知结果对所述边角料进行切割去除，即所述激光枪对于存在边角料的区域发出激光进行切割，对于不存在边角料的区域停止发出激光；本发明将激光枪和激光变位器组合使用，这样可以省去切割之前根据不同产品设定不同切割Recipe的过程，从而避免设定Recipe过程中的易出错事项，避免由Recipe编辑错误所导致的应该被切除的地方没有切除、不应被切除的地方被激光枪照射所产生的玻璃破损甚至宕机的现象发生，进而避免品质异常和材料浪费。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种对掩膜板进行切割的激光切割装置及激光切割方法。

背景技术

有机发光二级管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-LCD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。

OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机发光层和阴极。在制备OLED显示器件时，需要将OLED中的各层材料通过蒸镀工艺蒸镀到阵列基板上，而且在蒸镀过程中，需要使用到相应的精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)，通过FMM上的开孔使OLED材料蒸镀到设计的位置，具体地，通过加热OLED材料，使得OLED材料慢慢变成气态升华，然后穿过FMM的开孔沉积在基板表面形成薄膜。当前投入商业化生产的进行彩色显示的OLED显示器件主要有RGB三色OLED显示器件和白光OLED搭配彩色滤光片(color filter，CF)的显示器件。其中，RGB三色OLED显示器件当前广泛应用于移动显示设备，其FMM技术是显示器件解析度的决定因素。

通常掩膜板(Mask)由掩膜框架(Mask Frame)和通过激光点焊固定在掩膜框架上的掩膜(Mask Sheet)所组成。传统FMM的掩膜(FMM Sheet)主要使用因瓦合金(Invar)材料，经过双面光刻、蚀刻工艺制造而成。图1为传统FMM的结构示意图，如图1所示，现有技术中通过张网机(mask tension)将条状的具有多个像素开孔210的精细掩膜200与一个金属框架100对位后，通过激光焊接在一起，然后构成一整体的FMM再应用于蒸镀工艺。在FMMTension工艺过程中，在进行完FMM Sheet张网之后，原始的精细掩膜200都是存在边角料205的，这时需要采用激光切割的方式把多余的边角料205切割掉。

而FMM Sheet的边角料不是在固定区域存在，不同产品的边角料的存在区域并不相同，那么就需要操作人员对有边角料的区域进行设定切割食谱(Recipe)，然后设置在激光切割机(Laser Trimmer)设备的系统中，设备按照设定好的Recipe对特定含有边角料的区域进行切割，由于设定Recipe的过程繁琐，容易出错，若是出现错误则会导致产品异常和材料浪费。

因此，有必要设计一种新的激光切割机结构及激光切割方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光切割装置，将激光枪和激光变位器组合使用，这样可以省去切割之前根据不同产品设定不同切割Recipe的过程，进而可有效避免品质异常和材料浪费。

本发明的目的还在于提供一种激光切割方法，采用上述的激光切割装置，省去了切割之前根据不同产品设定不同切割Recipe的过程，进而可有效避免品质异常和材料浪费。

为实现上述目的，本发明提供一种激光切割装置，用于对掩膜板上的边角料进行切割去除，包括并列设置的激光枪及激光变位器；