[发明专利]管道清洁方法及装置

权利要求书

1.一种管道清洁方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一管道清洁装置，所述管道清洁装置包括反应腔体、第一管道、第二管道以及尾气处理装置，所述第一管道连接所述反应腔体与所述尾气处理装置，所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道导通或闭塞；所述第二管道与所述第一管道交汇，且所述第二管道与所述第一管道的交汇点位于所述第一阀门与所述尾气处理装置之间；

关闭所述第一阀门，使所述第一管道闭塞，进而隔离所述交汇点与所述反应腔体；

通过所述第二管道向所述第一管道输送清洁气体，以清洁所述第一管道。

2.如权利要求1所述的管道清洁方法，其特征在于，所述清洁气体包括稳定气体和清除气体，所述稳定气体包括氮气或惰性气体，所述清除气体包括三氟化氯，并且所述第一管道中存在反应副产物；

其中，清洁所述第一管道的方法包括：

通过所述第二管道向所述第一管道输送稳定气体；

通过所述第二管道向所述第一管道输送清除气体，所述清除气体与所述反应副产物反应生成反应气体，以清除所述反应副产物；

通过所述第二管道向所述第一管道输送稳定气体，对所述第一管道进行吹扫，并将所述第一管道中的反应气体输送至所述尾气处理装置。

3.如权利要求2所述的管道清洁方法，其特征在于，所述管道清洁装置还包括排气装置，所述排气装置与所述尾气处理装置通过管道连接；在将所述反应气体输送至所述尾气处理装置后，所述方法还包括：

在所述尾气装置中煅烧所述反应气体，并通过所述排气装置排出。

4.如权利要求2所述的管道清洁方法，其特征在于，在通过所述第二管道向所述第一管道输送清除气体时，还通过所述第二管道向所述第一管道输送稳定气体，以使得所述稳定气体带动所述清洁气体流动。

5.如权利要求2所述的管道清洁方法，其特征在于，所述第二管道包括主管道、第一子管道以及第二子管道；

所述第一子管道和所述第二子管道交汇至所述主管道的一端，所述主管道的另一端与所述第一管道交汇，并且，所述主管道上设置有第二阀门，用于控制所述主管道的导通和闭塞，所述第一子管道上设置有第三阀门，用于控制所述第一子管道的导通和闭塞，以及所述第二子管道上设置有第四阀门，用于控制所述第二子管道的导通和闭塞；

其中，所述第一子管道用于输送清除气体，所述第二子管道用于输送稳定气体。

6.如权利要求5所述的管道清洁方法，其特征在于，所述管道清洁装置还包括多个流量范围控制器，所述第一子管道上设置有所述流量范围控制器，用于控制所述清除气体的流量，所述第二子管道上也设置有所述流量范围控制器，用于控制所述稳定气体的流量。

7.如权利要求2所述的管道清洁方法，其特征在于，清除所述第一管道中的反应副产物所需的时间范围介于3～5小时之间。

8.如权利要求2所述的管道清洁方法，其特征在于，清洁所述第一管道所需的清除气体的用量范围介于50～80升/次之间。

9.如权利要求1至8任一所述的管道清洁方法，其特征在于，清洁所述第一管道之前，所述第一管道和所述第二管道的温度小于100摄氏度。

10.一种管道清洁装置，其特征在于，所述管道清洁装置包括反应腔体、第一管道、第二管道以及尾气处理装置；

其中，所述第一管道连接所述反应腔体与所述尾气处理装置，所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道导通或闭塞；所述第二管道与所述第一管道交汇，且所述第二管道与所述第一管道的交汇点位于所述第一阀门与所述尾气处理装置之间，所述第二管道用于向所述第一管道输送清洁气体，以清洁所述第一管道。

11.如权利要求10所述的管道清洁装置，其特征在于，所述管道清洁装置还包括与所述尾气处理装置通过管道连接的排气装置。