[发明专利]负型光阻组合物及其用途有效
申请号: | 201811338084.4 | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN111176070B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 吴旻霏;黄新义;叶子瑭;邱美秀 | 申请(专利权)人: | 台湾永光化学工业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/038;G09F9/33 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊晓 |
地址: | 中国台湾台北*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 负型光阻 组合 及其 用途 | ||
1.一种负型光阻组合物,包括:
一双酚类树脂,是由一双酚F与一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂;
一酚醛类树脂,是由一酚类化合物与另一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂;
一光酸产生剂;
一交联剂;
一添加剂;以及
一溶剂;
其中,该双酚类树脂的含量介于4wt%至30wt%,该酚醛类树脂的含量介于4wt%至40wt%,该光酸产生剂的含量介于0.05wt%至5wt%,该交联剂的含量介于3wt%至20wt%,该添加剂的含量介于0.05wt%至5wt%,而余量为该溶剂;
其中,该酚类化合物是选自由苯酚、甲基苯酚、二甲基苯酚、三甲基苯酚及其组合所组成的群组。
2.如权利要求1所述的负型光阻组合物,其中该酚醛类树脂是由间甲基苯酚及对甲基苯酚与甲醛缩合而得的碱可溶性树脂;由间甲基苯酚、对甲基苯酚、2,4-二甲基苯酚及2,5-二甲基苯酚与甲醛缩合而得的碱可溶性树脂;或由间甲基苯酚及2,3,5-三甲基苯酚与甲醛缩合而得的碱可溶性树脂。
3.如权利要求1所述的负型光阻组合物,其中该酚醛类树脂的分子量介于1500至40000之间。
4.如权利要求1所述的负型光阻组合物,其中该光酸产生剂为2,4-二(三氯甲基)-6-[1-4-(甲氧基)萘基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基-2-呋喃基)乙酰基]-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(3,5-二乙氧基苯基)乙酰基]-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙酰基苯基-s-三嗪、2-甲基-α-[2-[[(丙基磺酰基)氧]亚胺]-3(2H)-噻吩亚基苯乙腈、α-(2-丙磺酰氧基亚氨基噻吩-3-烯基-邻甲基苯乙腈)、α-(三氟甲基磺酸基氧亚胺基)-苯基乙腈或其混合物。
5.如权利要求1所述的负型光阻组合物,其中该交联剂为1,3,5-三嗪-2,4,6-三胺与甲醛和甲缩醛的聚合物甲基化物、甲氧基甲基化三聚氰胺树脂、乙氧基甲基化三聚氰胺树脂、丙氧基甲基化三聚氰胺树脂、甲氧基甲基化尿素树脂、乙基甲基化尿素树脂、丙氧基甲基化尿素树脂或其混合物。
6.如权利要求1所述的负型光阻组合物,其中该添加剂为一胺类化合物或一吸收活性放射线的化合物。
7.如权利要求6所述的负型光阻组合物,其中该胺类化合物为三甲基胺、三乙基胺、三正丙基胺、三异丙基胺、二乙胺、二正乙基胺、三丁基胺、苯胺、N-甲基苯胺、N,N’-二甲基苯胺、二苯胺、吡啶、邻甲基吡啶或其混合物。
8.如权利要求6所述的负型光阻组合物,其中该吸收活性放射线化合物为两末端具有叠氮基的双叠氮基化合物、偶氮染料、次甲基染料、姜黄素、呫吨酮、二烷基胺基化合物、1,2-二氰基乙烯或其混合物。
9.一种如权利要求1至8任一项所述的负型光阻组合物的用途,用于形成一显示设备用的倒梯形间隔壁。
10.如权利要求9所述的用途,其中该显示设备为一有机发光二极管显示设备。
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