[发明专利]负型光阻组合物及其用途

说明书

一种负型光阻组合物，包括：一双酚类树脂，是由一双酚F与一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂；一酚醛类树脂，是由一酚类化合物与另一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂；一光酸产生剂；一交联剂；一添加剂；以及一溶剂。本发明更涉及一种前述负型光阻组合物的用途，其用于形成一显示设备用的倒梯形间隔壁。

技术领域

本发明涉及一种负型光阻组合物及其用途，尤其涉及一种可用于形成倒梯形图案且具有高耐热性的负型光阻组合物及其用途。

背景技术

在显示设备(例如，有机发光二极管显示设备)的制备中，常使用负型光阻形成倒梯形的间隔壁，通过间隔壁可隔开后续形成的电极线及有机材料层，以避免短路的情形发生。

目前常见的负型光阻组合物，例如酚醛树脂，其耐热温度仅约120度。然而，形成电极线及有机材料层的溅镀或蒸镀工艺温度往往高于200度以上，故一般常见的酚醛树脂因耐热性不高，而无法应用于后续的溅镀或蒸镀工艺上。

除了酚醛树脂外，PHS树脂(Polyhydroxystyrene resin)或聚亚酰胺树脂(Polyimide resin)也可用于形成倒梯形的间隔壁上；但PHS树脂或聚亚酰胺树脂成本较高。此外，双酚A树脂虽也可以形成倒梯形的间隔壁，但双酚A树脂(同双酚F树脂合成方法)中所含的双酚A为环境荷尔蒙，对环境有危害。另外，其他具有特殊官能基的双酚类树脂虽可解决此问题，但却面临合成复杂且成本高的问题。

有鉴于此，目前亟需发展一种负型光阻组合物，其可形成倒梯形的间隔壁，并同时具有耐高温、低成本及/或对环境友善的效果。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种负型光阻组合物，其曝光显影后可形成倒梯形图形，且所形成的图形具有耐高温的特性。

本发明的负型光阻组合物包括：一双酚类树脂，是由一双酚F与一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂；一酚醛类树脂，是由一酚类化合物与另一醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂；一光酸产生剂；一交联剂；一添加剂；以及一溶剂。

常见的负型光阻组合物，例如酚醛树脂，因其耐热温度仅约120度，故不具有耐高温的特性，而无法适应显示设备间隔壁形成后的高温(200度以上)溅镀或蒸镀工艺。至于双酚A树脂，对环境有害；而其他具有特殊官能基的双酚类树脂，则面临合成复杂且成本高的问题。因此，在本发明的负型光阻组合物中，借由将双酚类树脂与酚醛类树脂合并使用，使得所形成的光阻图案具有耐高温及/或图形良好的特性，继而可适应显示设备间隔壁形成后的高温溅镀或蒸镀工艺。此外，在本发明的负型光阻组合物中，所使用的双酚类树脂为双酚F与醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂，进而达到低成本及/或对环境友善的功效。另外，本发明的负型光阻组合物经过黄光微影工艺后，可形成倒梯形的图案，属于上底较长的图案，进而可应用于显示设备用的间隔壁上。

在本发明的负型光阻组合物中，双酚类树脂的含量可介于4wt％至30wt％，酚醛类树脂的含量可介于4wt％至40wt％，光酸产生剂的含量可介于0.05wt％至5wt％，交联剂的含量可介于3wt％至20wt％，添加剂的含量可介于0.05wt％至5wt％，而余量为溶剂。

在本发明的负型光阻组合物中，双酚类树脂是由双酚F与醛类化合物缩合而得的碱可溶性树脂；更具体而言，双酚类树脂是由双酚F与甲醛缩合而得的碱可溶性树脂。其中，双酚类树脂的分子量并无特殊限制；在本发明的一实施例中，双酚类树脂的分子量介于5000至20000之间；在本发明的另一实施例中，双酚类树脂的分子量介于8000至15000之间；在本发明的再一实施例中，双酚类树脂的分子量介于10000至12000之间。