[发明专利]压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人

权利要求书

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具有：

支承部；

第一移动部，被所述支承部支承，能够相对于所述支承部沿第一方向移动；

第二移动部，被所述第一移动部支承，能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第一移动部相对于所述支承部沿所述第一方向移动，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第一移动部保持于所述支承部；以及

第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第二移动部相对于所述第一移动部沿所述第二方向移动，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第二移动部保持于所述第一移动部，

将所述第一移动部保持于所述支承部的第一保持力与将所述第二移动部保持于所述第一移动部的第二保持力互不相同。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

使所述第一移动部相对于所述支承部移动的第一驱动力和使所述第二移动部相对于所述第一移动部移动的第二驱动力互不相同。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一压电致动器以及所述第二压电致动器为彼此相同的结构，

所述第一驱动部所具备的所述第一压电致动器的数量与所述第二驱动部所具备的所述第二压电致动器的数量互不相同。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述第一驱动部具有层叠有多个所述第一压电致动器的压电模块，

所述第二驱动部具有层叠有多个所述第二压电致动器的压电模块。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述支承部能够沿所述第二方向移动，

所述第二保持力比所述第一保持力大。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述压电驱动装置具有：

第三移动部，被所述第二移动部支承，能够相对于所述第二移动部绕沿与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向的轴转动；以及

第三驱动部，具备第三压电致动器，通过所述第三压电致动器的驱动而使所述第三移动部相对于所述第二移动部转动，并通过所述第三压电致动器的停止而使所述第三移动部保持于所述第二移动部。

7.一种电子元件输送装置，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的压电驱动装置。

8.一种机器人，其特征在于，具有：

第一部件；

第二部件，被所述第一部件支承，能够相对于所述第一部件位移；

第三部件，被所述第二部件支承，能够相对于所述第二部件位移；

第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第二部件相对于所述第一部件位移，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第二部件保持于所述第一部件；以及第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第三部件相对于所述第二部件位移，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第三部件保持于所述第二部件，

将所述第二部件保持于所述第一部件的第一保持力与将所述第三部件保持于所述第二部件的第二保持力互不相同。

9.根据权利要求8所述的机器人，其特征在于，

使所述第二部件相对于所述第一部件移动的第一驱动力与使所述第三部件相对于所述第二部件移动的第二驱动力互不相同。

10.根据权利要求8或9所述的机器人，其特征在于，

所述第一压电致动器以及所述第二压电致动器为彼此相同的结构，

所述第一驱动部所具备的所述第一压电致动器的数量与所述第二驱动部所具备的所述第二压电致动器的数量互不相同。