[发明专利]压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人

说明书

本申请提供了一种压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人，能够实现兼顾稳定的驱动和省电化。压电驱动装置具有：支承部；第一移动部，能够相对于支承部沿第一方向移动；第二移动部，能够相对于第一移动部沿第二方向移动；第一驱动部，通过第一压电致动器的驱动而使第一移动部相对于支承部移动，并通过第一压电致动器的停止而使第一移动部保持于支承部；以及第二驱动部，通过第二压电致动器的驱动而使第二移动部相对于第一移动部移动，通过第二压电致动器的停止而使第二移动部保持于第一移动部，将第一移动部保持于支承部的第一保持力与将第二移动部保持于第一移动部的第二保持力互不相同。

技术领域

本发明涉及压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人。

背景技术

例如，在专利文献1中记载有如下台，该台具有：支承台；第一移动体，配置于支承台上；第二移动体，配置于第一移动体上；第一压电致动器，相对于支承台使第一移动体沿X轴方向移动；以及第二压电致动器，相对于第一移动体使第二移动体沿Y轴方向移动。

专利文献1：日本特开2008-122381号公报

在这样的台中，由于在第一移动体上配置有第二移动体，因此使第一移动体相对于支承台沿X轴方向移动所需的驱动力以及使第一移动体相对于支承台保持为不动所需的保持力大于使第二移动体相对于第一移动体沿Y轴方向移动所需的驱动力以及使第二移动体相对于第一移动体保持为不动所需的保持力。

然而，在专利文献1中，虽未说明，但是根据附图等推测，认为使用了相同的压电致动器作为第一压电致动器以及第二压电致动器。因此，例若以用于使第一移动体相对于支承台移动的驱动力以及用于使第一移动体保持于支承台的保持力为基准来选择第一压电致动器、第二压电致动器，则会导致第二压电致动器的驱动力以及保持力过大。这样，有可能会浪费驱动电力。反之，若以用于使第二移动体相对于第一移动体移动的驱动力以及用于使第二移动体保持于第一移动体的保持力为基准来选择第一压电致动器、第二压电致动器，则会导致第一压电致动器的驱动力以及保持力不足。这样，有可能无法进行台的稳定的驱动。

这样，在专利文献1所记载的台中，有可能会产生难以兼顾台的稳定的驱动和省电化这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人。

上述目的通过下述本发明来实现。

本发明的压电驱动装置的特征在于，所述压电驱动装置具有：支承部；第一移动部，被所述支承部支承，能够相对于所述支承部沿第一方向移动；第二移动部，被所述第一移动部支承，能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；第一驱动部，具备第一压电致动器，通过所述第一压电致动器的驱动而使所述第一移动部相对于所述支承部沿所述第一方向移动，并通过所述第一压电致动器的停止而使所述第一移动部保持于所述支承部；以及第二驱动部，具备第二压电致动器，通过所述第二压电致动器的驱动而使所述第二移动部相对于所述第一移动部沿所述第二方向移动，并通过所述第二压电致动器的停止而使所述第二移动部保持于所述第一移动部，将所述第一移动部保持于所述支承部的第一保持力与将所述第二移动部保持于所述第一移动部的第二保持力互不相同。

由此，由于能够独立且恰当地设定第一保持力以及第二保持力，因此能够抑制第一保持力以及第二保持力中的一方过大或者反之不足的情况。因此，成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的压电驱动装置。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，使所述第一移动部相对于所述支承部移动的第一驱动力和使所述第二移动部相对于所述第一移动部移动的第二驱动力互不相同。

由此，由于能够独立且恰当地设定第一驱动力以及第二驱动力，因此能够抑制第一驱动力以及第二驱动力中的一方过大或者反之不足的情况。因此，成为能够实现兼顾稳定的驱动和省电化的压电驱动装置。