[发明专利]一种具有夹层的类金刚石膜在审
| 申请号： | 201811341661.5 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109518156A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈云枫;邹飞扬;邹晓洙 | 申请（专利权）人： | 长沙创恒机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/02;C23C16/511;C23C16/06;C23C16/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 底层介质层 中间介质层 类金刚石层 类金刚石膜 三层结构 夹层 微波等离子 类金刚石 结合度 中间层 沉积 制备 基层 | ||
1.一种具有夹层的类金刚石膜，其特征在于，所述类金刚石膜包括三层结构，该三层结构包括作为基层的底层介质层、中间介质层以及置于表面的类金刚石层，所述底层介质层为Co，中间介质层为Ti系材料；
所述底层介质层、中间介质层以及类金刚石层均采用微波等离子体气相沉积方法制备得到；其中，所述底层介质层的厚度为1~5um，所述中间介质层的厚度为100~800nm，所述类金刚石层的厚度为1~5um。
2.根据权利要求1所述的具有夹层的类金刚石膜，其特征在于，所述中间介质层包括Ti和TiC。
3.根据权利要求1所述的具有夹层的类金刚石膜，其特征在于，所述中间介质层的Ti的厚度为100~200nm，所述TiC的厚度为200~300nm。
4.根据权利要求1所述的具有夹层的类金刚石膜，其特征在于，所述底层介质层的厚度为1um，所述中间介质层的Ti的厚度为100nm，所述TiC的厚度为200nm，所述类金刚石层的厚度为1um。
5.根据权利要求1所述的具有夹层的类金刚石膜，其特征在于，所述底层介质层的厚度为3um，所述中间介质层的Ti的厚度为150nm，所述TiC的厚度为250nm，所述类金刚石层的厚度为3um。
6.根据权利要求1所述的具有夹层的类金刚石膜，其特征在于，所述底层介质层的厚度为5um，所述中间介质层的Ti的厚度为200nm，所述TiC的厚度为300nm，所述类金刚石层的厚度为5um。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
