[发明专利]用于调节粒子束显微镜的方法

权利要求书

1.一种用于调节粒子束显微镜的方法，其中，所述粒子束显微镜包括：用于产生粒子束的粒子源；用于将所述粒子束聚焦在物体上的物镜；以及被布置在所述粒子源与所述物镜之间的束路径中的束调节装置，并且其中，所述方法包括以下措施：

措施A：将所述束调节装置设置为第一设置(W1)，将所述物镜的激励设置为第一物镜激励值(I1)，并且记录所述物体的第一图像；

措施B：将所述束调节装置设置为与所述第一设置(W1)不同的第二设置(W2)，将所述物镜的激励设置为所述第一物镜激励值(I1)，并且记录所述物体的第二图像；

措施C：将所述束调节装置设置为所述第一设置(W1)，将所述物镜的激励设置为与所述第一物镜激励值(I1)不同的第二物镜激励值(I2)，并且记录所述物体的第三图像；

措施D：将所述束调节装置设置为所述第二设置(W2)，将所述物镜的激励设置为所述第二物镜激励值(I2)，并且记录所述物体的第四图像；

并且其中，所述方法还包括：

基于所述第一图像、所述第二图像、所述第三图像、以及所述第四图像来确定所述束调节装置的优化设置(Wopt)；

确定第三物镜激励值(I3)；并且

将所述束调节装置设置为所述优化设置(Wopt)，将所述物镜的激励设置为所述第三物镜激励值(I3)，并且记录至少一个进一步图像；

其中，确定所述第三物镜激励值(I3)，使得满足以下关系：

I3＝I1+K*(I2-I1)

其中

I1是所述第一物镜激励值(I1)，

I2是所述第二物镜激励值(I2)，

I3是所述第三物镜激励值(I3)，并且

K是预定值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述措施B之前或之后执行所述措施A，其中，在所述措施D之前或之后执行所述措施C，并且其中，在所述措施C和D之前执行所述措施A和B。

3.一种用于调节粒子束显微镜的方法，其中，所述粒子束显微镜包括：用于产生粒子束的粒子源；用于将所述粒子束聚焦在物体上的物镜；以及被布置在所述粒子源与所述物镜之间的束路径中的束调节装置，并且其中，所述方法包括以下措施：

措施A：将所述束调节装置设置为第一设置(W1)，将所述物镜的激励设置为第一物镜激励值(I1)，并且记录所述物体的第一图像；以及接下来

措施B：将所述束调节装置设置为所述第一设置(W1)，将所述物镜的激励设置为与所述第一物镜激励值(I1)不同的第二物镜激励值(I2)，并且记录所述物体的第二图像；以及接下来

措施C：将所述束调节装置设置为与所述第一设置(W1)不同的第二设置(W2)，将所述物镜的激励设置为所述第二物镜激励值(I2)，并且记录所述物体的第三图像；以及接下来

措施D：将所述束调节装置设置为所述第二设置(W2)，将所述物镜的激励设置为与所述第一物镜激励值(I1)和所述第二物镜激励值(I2)不同的第三物镜激励值(I3)，并且记录所述物体的第四图像；

并且其中，所述方法还包括：

基于所述第一图像、所述第二图像、所述第三图像、以及所述第四图像来确定所述束调节装置的优化设置(Wopt)；

确定所述第三物镜激励值(I3)；并且

将所述束调节装置设置为所述优化设置(Wopt)，将所述物镜的激励设置为所述第三物镜激励值(I3)，并且记录至少一个进一步图像；

其中，确定所述第三物镜激励值(I3)，使得满足以下关系：

I3＝I1+K*(I2-I1)

其中

I1是所述第一物镜激励值(I1)，

I2是所述第二物镜激励值(I2)，

I3是所述第三物镜激励值(I3)，并且

K是预定值。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，还包括：在执行所述措施A和B之前，通过改变所述物镜的激励来优化图像清晰度标准、并且将实现优化的图像清晰度标准的物镜激励值用作所述第一物镜激励值(I1)。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，在优化所述图像清晰度标准的过程中，将所述束调节装置设置为所述第一设置(W1)。