[发明专利]用于调节粒子束显微镜的方法

说明书

一种用于调节粒子束显微镜的方法，当调节粒子束显微镜时，执行以下步骤：A：将束调节装置设置为第一设置W1，将物镜激励至第一物镜激励值I1，并且记录第一图像；B：将所述束调节装置设置为第二设置W2，并且记录第二图像；C：将所述束调节装置设置为所述第一设置W1，将所述物镜激励至第二物镜激励值I2，并且记录第三图像；D：将所述束调节装置设置为所述第二设置W2，并且记录第四图像；以及E：将所述束调节装置设置为根据这些图像确定的优化的设置Wopt，将所述物镜激励至第三物镜激励值I3＝I1+K*(I2‑I1)，并且记录进一步图像。

技术领域

本发明涉及用于调节粒子束显微镜的方法、在这方面尤其涉及调节粒子束相对于粒子束显微镜的物镜的主轴的位置的方法。

背景技术

粒子束显微镜、比如电子束显微镜或离子束显微镜是必须进行调节以优化操作的复杂的技术系统。调节粒子束显微镜的一个方面涉及相对于物镜来调节指向待检查物体的粒子束，用物镜将粒子束聚焦在物体上。由于物镜的成像像差对粒子束的影响随着粒子穿过物镜的轨迹距物镜主轴的距离而增大，因此希望使穿过物镜的粒子束相对于主轴居中。为此，粒子束显微镜包括束调节装置，该束调节装置被布置在用于产生粒子束的粒子源与物镜之间、并且被设置成以某种方式来操纵或选择粒子束，使得粒子束以相对于物镜主轴居中的方式穿过物镜。典型地以用于调节粒子束显微镜的单独方法来确定对束调节装置的为此必需的设置，以改善粒子束显微镜的效率。

从EP 2 309 530 B1中已知了用于此目的的常规方法。在这种常规方法(参照EP 2309 530 B1的图2)中，在束调节装置为第一设置并且物镜为第一设置时记录第一图像。接下来，在束调节装置为第一设置并且物镜为第二设置时记录第二图像。接下来，在束调节装置为第二设置并且物镜为第一设置时记录第三图像。接下来，在束调节装置为第二设置并且物镜为第二设置时记录第四图像。由于这些不同的设置，所记录的这四个图像相对于彼此移位。可以通过分析这些图像来确定对应的位移，只要被成像物体足够地结构化。根据所确定的位移来计算束调节装置的优化设置。接下来使用束调节装置的这种优化设置以及物镜的第一设置，来记录高品质图像。

希望进一步改善这种方法。

发明内容

因此，本发明的目的是提出一种用于相对于粒子束显微镜中的物镜来调节粒子束的方法，该方法将产生比较好的结果。

根据本发明提出了一种用于调节粒子束显微镜的方法，所述粒子束显微镜包括：用于产生粒子束的粒子源；用于将粒子束聚焦在物体上的物镜；以及被布置在所述粒子源与所述物镜之间的束路径中的束调节装置，并且其中，所述方法包括：以四种不同的设置来设置所述束调节装置和所述物镜并且在每种设置时记录物体的图像、基于这四个图像来确定所述束调节装置的优化设置并且记录所述束调节装置以优化设置进行设置时的至少一个进一步图像。

根据示例性实施例，记录这四个图像包括以下措施：

措施A：将所述束调节装置设置为第一设置W1，将所述物镜的激励设置为第一物镜激励值I1，并且记录所述物体的第一图像；

措施B：将所述束调节装置设置为与所述第一设置W1不同的第二设置W2，将所述物镜的激励设置为所述第一物镜激励值I1，并且记录所述物体的第二图像；

措施C：将所述束调节装置设置为第一设置W1，将所述物镜的激励设置为与所述第一物镜激励值I1不同的第二物镜激励值I2，并且记录所述物体的第三图像；

措施D：将所述束调节装置设置为第二设置W2，将所述物镜的激励设置为所述第二物镜激励值I2，并且记录所述物体的第四图像。