[发明专利]一种大束流离子注入机剂量补打方法在审
| 申请号： | 201811357791.8 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111192810A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 方加晔;李士会;肖志强 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 流离 注入 剂量 方法 | ||
1.一种大束流离子注入机打火剂量补打方法包括硬件：PMAC板卡(1)、ACC-24E2A PMAC轴卡(2)、打火检测板(3)、直线运动控制组件(4)、工控机(5)、PMAC MACRO机箱(6)、光栅尺(7)、直线电机(8)、驱动器(9)、电源(10)。其特征在于：打火检测板(3)实时检测电源(10)的状态，发生打火时打火检测板(3)将同时发出相同的信号至电源(10)与ACC-24E2A PMAC轴卡(2)。信号发送至电源(10)用于瞬间关闭电源(10)，信号发送至ACC-24E2A PMAC轴卡(2)用于打火发生时，直线模组(4)运动瞬时位置的捕捉，并记录到PMAC板卡(1)中，同时直线模板继续按照原来的运动方向到运动上限(12)，这里假定初始的运动方向为运动下限(11)到运动上限(12)。如图3所示，已注入区域在上，未注入区域在下。
2.如权利要求1所示的一种大束流离子注入机打火剂量补打方法，打火发生后恢复离子注入机时要先打开电源(10)，调整离子注入机束流至设定值，重新进行离子注入，直线模组(4)向相反方向运动，即从运动上限(12)运动到运动下限(11)，在运动到上一次打火捕捉的位置时，ACC-24E2A PMAC轴卡(2)向打火检测板(3)发送信号关闭电源(10)，且运动模组(4)继续运动到运动下限(11)。
3.如权利要求1所示的一种大束流离子注入机打火剂量补打方法，其方法的主要特征在于打火发生时，直线模组(4)反方向运动进行剂量补打。
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