[发明专利]带电粒子束装置

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其由试样自动地制作试样片，其特征在于，具有：

带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；

试样载台，其载置并移动所述试样；

试样片移设单元，其保持并搬运从所述试样分离并摘出的所述试样片；

保持器固定台，其保持试样片保持器，所述试样片被移设于该试样片保持器；以及

计算机，其对所述试样片移设单元和所述带电粒子束照射光学系统进行控制，使得在通过所述试样片移设单元保持所述试样片后，在对所述试样片照射所述带电粒子束而得到的图像中，划定包含与所述试样的加工时的深度方向对应的所述试样片的厚度方向的未被固定于所述试样片保持器的端部在内的整形加工区域，对所述整形加工区域照射所述带电粒子束，从而对所述试样片进行整形加工。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述计算机对所述带电粒子束照射光学系统进行控制，使得以与通过所述试样片移设单元保持的所述试样片的姿态对应的旋转角度使得到所述图像时的所述带电粒子束的扫描方向旋转。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述计算机在使所述带电粒子束的扫描方向旋转为所述旋转角度而得到的所述图像中，对所述试样片的所述端部的边缘进行识别，根据该边缘设定所述整形加工区域。

4.根据权利要求2或3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述试样片移设单元具有：针，其保持并搬运从所述试样分离并摘出的所述试样片；以及针驱动机构，其对该针进行驱动，

所述计算机对所述针驱动机构进行控制，使得通过使保持所述试样片的所述针进行轴旋转，从而相对于所述试样片保持器控制所述试样片的姿态。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述计算机对所述带电粒子束照射光学系统进行控制，使得在对所述整形加工区域照射所述带电粒子束而对所述试样片进行整形加工后，对所述试样片的观察面照射所述带电粒子束而对所述观察面进行加工。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述计算机对在通过所述试样片移设单元保持的所述试样片的表面露出的图案进行识别，以不与该图案干涉的方式设定所述整形加工区域。