[发明专利]带电粒子束装置

说明书

提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。

技术领域

本发明涉及自动进行取样的带电粒子束装置。

背景技术

以往，已知如下装置，该装置摘出通过对试样照射由电子或离子构成的带电粒子束而制作的试样片，将试样片加工成适合于扫描电子显微镜和透射电子显微镜等的观察、分析以及计测等各种工序的形状(例如，参照专利文献1)。

以往，已知如下装置，该装置在利用装置内设置的针摘出试样片而将试样片移设于试样片保持器时，通过使针进行轴旋转，从而转换试样片相对于试样片保持器的姿态，其中，该试样片是对试样照射聚焦离子束而制作的(例如，参照专利文献2)。在该装置中，在通过针的轴旋转对试样片的姿态进行转换后将试样片固定于试样片保持器，因此，能够提高将试样片加工成适合于扫描电子显微镜和透射电子显微镜等的观察、分析以及计测等各种工序的形状时的效率。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】日本特开2008-153239号公报

【专利文献2】日本特开2009-110745号公报

发明内容

发明要解决的问题

在本说明书中，“取样”是指，摘出通过对试样照射带电粒子束而制作的试样片，将该试样片加工成适合于观察、分析和计测等各种工序的形状，更具体而言，是指将通过聚焦离子束的加工而由试样形成的试样片移设于试样片保持器。

以往，并没有充分实现能够自动进行试样片的取样的技术。

阻碍自动连续地重复取样的原因如下：在对试样照射聚焦离子束而生成试样片时，以及对固定于试样片保持器的试样片照射聚焦离子束而进行加工时，聚焦离子束的入射方向被限制，因此有时无法将试样片加工成期望的形状。

例如，在对试样照射聚焦离子束而生成试样片时，如试样片的底面侧等这样的无法照射聚焦离子束的部位的整形加工是困难的。由此，在使用针将试样片移设于试样片保持器时，在将试样片的底面侧等未进行整形加工的部位固定于试样片保持器的情况下，产生无法实现适当的固定的问题。

此外，例如存在如下问题：在将试样片固定于试样保持器后，在从试样片的底面侧照射离子束而对试样片进行精加工的情况下，如果未进行整形加工，则由于底面的形状的影响而无法均匀地对试样片进行加工。

这样的情况阻碍了作为原本目的的自动连续地重复取样。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供带电粒子束装置，能够自动地执行将试样片摘出而移设于试样片保持器的动作，该试样片是通过基于离子束的试样的加工而形成的。

用于解决问题的手段

为了解决上述课题而达成相关目的，本发明采用了以下的方式。(1)本发明的一个方式的带电粒子束装置由试样自动地制作试样片，带电粒子束装置具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载台，其载置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并搬运从所述试样分离并摘出的所述试样片；保持器固定台，其保持试样片保持器，所述试样片被移设于该试样片保持器；以及计算机，其对所述试样片移设单元和所述带电粒子束照射光学系统进行控制，使得在通过所述试样片移设单元保持所述试样片后，在对所述试样片照射所述带电粒子束而得到的图像中，划定包含与所述试样的加工时的深度方向对应的所述试样片的厚度方向的端部在内的整形加工区域，对所述整形加工区域照射所述带电粒子束，从而对所述试样片进行整形加工。