[发明专利]一种高绝缘型引线框架及塑封方法有效
申请号: | 201811364516.9 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN111199942B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 张轩 | 申请(专利权)人: | 泰州友润电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L21/56 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 谈杰 |
地址: | 225324 江苏省泰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 绝缘 引线 框架 塑封 方法 | ||
1.一种高绝缘型引线框架,包括主架体(1),其特征在于:所述主架体(1)呈工字形,所述主架体(1)上设置有对称布设的至少八组副架体(2),所述主架体(1)和副架体(2)之间通过连杆(3)设置有载板(4),所述载板(4)上嵌入式安装有载片台(5),所述载板(4)上焊接有第一引线(6),所述第一引线(6)的左右两侧通过连接筋(7)设置有两组第二引线(8),所述主架体(1)和副架体(2)上均设置有绝缘框体(9),所述绝缘框体(9)包括绝缘聚合物层(901)、氧化铝绝缘层(902)和电镀陶瓷层(903),所述绝缘聚合物层(901)设置在主架体(1)和副架体(2)的外侧,所述氧化铝绝缘层(902)设置在绝缘聚合物层(901)的外侧,所述电镀陶瓷层(903)设置在氧化铝绝缘层(902)的一侧。
2.根据权利要求1所述的一种高绝缘型引线框架,其特征在于:所述载片台(5)上设置有两组对称布设的限位卡块(10)。
3.根据权利要求1所述的一种高绝缘型引线框架,其特征在于:所述载板(4)上开设有散热孔(11),所述散热孔(11)对称设置在载片台(5)的左右两侧。
4.根据权利要求1所述的一种高绝缘型引线框架,其特征在于:所述连杆(3)点焊在主架体(1)、副架体(2)和载板(4)上。
5.根据权利要求1所述的一种高绝缘型引线框架,其特征在于:所述主架体(1)、副架体(2)和载板(4)上均开设有定位孔(12)。
6.根据权利要求1所述的一种高绝缘型引线框架,其特征在于:所述第一引线(6)和第二引线(8)的端头上均设置有连接压片(13)。
7.根据权利要求1所述的一种高绝缘型引线框架,其特征在于:所述绝缘聚合物层(901)、氧化铝绝缘层(902)和电镀陶瓷层(903)的厚度分别为20-30μm、50-80μm和30-50μm。
8.一种权利要求1所述的高绝缘型引线框架的塑封方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将半导体芯片安装在引线框架上的载片台上;
S2、用电浆清洗引线框架及半导体芯片,同时取塑封料粉进行回温;
S3、将安装有半导体芯片的引线框架的背面,利用真空压力吸附于模压腔体的上模,已安装有半导体芯片的引线框架倒贴于上模体,上模与下模保持一定距离;
S4、向下模槽内均匀填撒经过回温的塑封料粉;
S5、使下模位于密封墙内,加热至150-200℃,使下模内塑封料粉中有机树脂从固体完全融化为液体;
S6、抽取上下模内气体至真空状态;
S7、上下腔体相向移动,使引线框架逐步浸入下模内流体塑封料内,直至上下模完全压合后,腔内温度设置为150-180℃,并保持50-70s;
S8、上下模压合状态下降温固化塑封料,完成再结晶过程;
S9、关闭腔内吸真空,退出已塑封的引线框架;
S10、对引线框架进行烘烤,烘烤温度为85-125℃,烘烤时间为24-72h,即完成对该高绝缘型引线框架的塑封。
9.根据权利要求8所述的一种高绝缘型引线框架的塑封方法,其特征在于:所述S2中的电浆为95%氩气与5%氧气的组合气体。
10.根据权利要求8所述的一种高绝缘型引线框架的塑封方法,其特征在于:所述S2中塑封料粉回温时间为4-6h。
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