[发明专利]压印模板及其制备方法和压印方法

说明书

本公开提供了一种压印模板，包括：衬底基板、压印用图形层和平坦化层；所述平坦化层位于所述压印用图形层背向衬底基板一侧的表面，所述平坦化层背向所述衬底基板的一侧表面为平面；所述平坦化层和所述压印用图形层被配置为：在特定除膜工艺下，所述平坦化层被去除，而所述压印用图形层保留。本公开还提供了一种压印模板的制备方法和压印方法。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，特别涉及压印模板及其制备方法和压印方法。

背景技术

在进行纳米压印工艺时，待处理基板上压印胶的表面平坦度直接影响压印效果；具体地，若压印胶的表面存在段差，在压印脱模时位于段差位置处会出现大面积的压印胶脱落、压印图形扭曲变形的现象。

针对上述问题，目前的解决方案是额外提供一个表面为平面(表面无图案)的空模板，在进行压印工艺前，先利用该空模板对压印胶表面进行平整化，然后再利用压印模板对压印胶进行图案化。因此，在现有的纳米压印工艺中，需要预先制备两种独立的模板：表面无图案的空模板和表面有图案的压印模板。

发明内容

本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种压印模板及其制备方法和压印方法。

第一方面，本公开实施例提供了一种压印模板，包括：衬底基板、压印用图形层和平坦化层；

所述平坦化层位于所述压印用图形层背向衬底基板一侧的表面，所述平坦化层背向所述衬底基板的一侧表面为平面；

所述平坦化层和所述压印用图形层被配置为：在特定除膜工艺下，所述平坦化层被去除，而所述压印用图形层保留。

在一些实施例中，所述平坦化层的材料包括：水溶性材料或可降解材料。

在一些实施例中，所述水溶性材料包括：聚乙烯醇树脂和聚己内酯树脂中的至少一种；

所述可降解材料包括：可降解型压印胶。

在一些实施例中，还包括：缓冲层；

所述缓冲层位于所述衬底基板和所述压印用图形层之间。

第二方面，本公开实施例提供了一种压印模板的制备方法，包括：

在衬底基板上形成压印用图形层；

在所述压印用图形层背向所述衬底基板的一侧形成平坦化层，所述平坦化层背向所述衬底基板的一侧表面为平面；

其中，所述平坦化层和所述压印用图形层被配置为：在特定除膜工艺下，所述平坦化层被去除，而所述压印用图形层保留。

在一些实施例中，所述在所述压印用图形层背向所述衬底基板的一侧形成平坦化层的步骤包括：

通过涂布工艺在所述压印用图形层背向所述衬底基板的一侧表面形成平坦化材料膜；

利用平整模板对所述平坦化材料膜背向所述衬底基板的一侧进行平整化；

对所述平坦化材料膜进行固化处理，以形成所述平坦化层；

将所述平整模板与所述平坦化层分离。

在一些实施例中，所述在所述压印用图形层背向所述衬底基板的一侧形成平坦化层的步骤包括：

通过涂布工艺在所述压印用图形层背向所述衬底基板的一侧表面形成平坦化材料膜；

将所述平坦化材料膜静置预定时长后，对所述平坦化材料膜进行固化处理。

在一些实施例中，所述在衬底基板上形成压印用图形层的步骤包括：

通过涂布工艺在衬底基板的一侧表面形成模板胶；