[发明专利]等离子体处理装置、温度控制方法以及存储介质

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，具有：

载置台，其设置有加热器，所述加热器能够对用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度进行调整；

加热器控制部，其控制向所述加热器供给的供给电力，以使所述加热器成为所设定的设定温度；

测量部，由所述加热器控制部控制向所述加热器供给的供给电力以使所述加热器的温度为固定，所述测量部测量等离子体没有点火的未点火状态和在等离子体点火之后向所述加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力；

参数计算部，其将来自等离子体的输入热量以及被处理体与所述加热器间的热阻设为参数，使用由所述测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算所述过渡状态的供给电力的计算模型进行拟合，来计算所述输入热量和所述热阻；以及

设定温度计算部，其使用由所述参数计算部计算出的所述输入热量和所述热阻，来计算使被处理体成为目标温度的所述加热器的设定温度。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，

所述载置台针对将所述载置面分割而成的每个区域单独地设置所述加热器，

所述加热器控制部对针对每个区域设置的每个所述加热器控制供给电力，以使针对每个区域设置的每个所述加热器成为针对每个区域设定的设定温度，

由所述加热器控制部控制每个所述加热器的供给电力以使温度为固定，所述测量部针对每个所述加热器测量所述未点火状态和所述过渡状态下的供给电力，

所述参数计算部针对每个所述加热器，使用由所述测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对所述计算模型进行拟合，来针对每个所述加热器计算所述输入热量和所述热阻，

所述设定温度计算部针对每个所述加热器，使用由所述参数计算部计算出的所述输入热量和所述热阻来计算使被处理体成为目标温度的所述设定温度。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

所述测量部以规定的循环测量所述未点火状态和所述过渡状态下的供给电力，

所述参数计算部针对每个所述规定的循环，使用测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力来分别计算所述输入热量和所述热阻，

所述等离子体处理装置还具有报警部，所述报警部基于由所述参数计算部计算出的所述输入热量和所述热阻中的至少一方的变化进行报警。

4.根据权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

还具有存储部，其存储所述输入热量和所述热阻，

所述设定温度计算部使用所述存储部中存储的所述输入热量和所述热阻，来计算使被处理体成为目标温度的所述加热器的设定温度，在该设定温度相比于根据由所述参数计算部计算出的所述输入热量和所述热阻进行计算所得的设定温度产生规定以上的偏离的情况下，所述设定温度计算部将所述存储部中存储的所述输入热量和所述热阻更新为由所述参数计算部计算出的所述输入热量和所述热阻。

5.一种温度控制方法，其特征在于，执行以下处理：

控制向加热器供给的供给电力以使设置有所述加热器的载置台的所述加热器的温度为固定，并且测量等离子体没有点火的未点火状态和在等离子体点火之后向所述加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力，所述加热器能够对用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度进行调整；

将来自等离子体的输入热量以及被处理体与所述加热器间的热阻设为参数，使用测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算所述过渡状态的供给电力的计算模型进行拟合，来计算所述输入热量和所述热阻；以及

使用计算出的所述输入热量和所述热阻，来计算使被处理体成为目标温度的所述加热器的设定温度。

6.一种存储介质，记录有温度控制程序，所述存储介质的特征在于，所述温度控制程序使以下处理被执行：

控制向加热器供给的供给电力以使设置有所述加热器的载置台的所述加热器的温度为固定，并且测量等离子体没有点火的未点火状态和在等离子体点火之后向所述加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力，所述加热器能够对用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度进行调整；

将来自等离子体的输入热量以及被处理体与所述加热器间的热阻设为参数，使用测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算所述过渡状态的供给电力的计算模型进行拟合，来计算所述输入热量和所述热阻；以及

使用计算出的所述输入热量和所述热阻，来计算使被处理体成为目标温度的所述加热器的设定温度。