[发明专利]金属线栅偏振片的制作方法及显示面板有效
| 申请号： | 201811368479.9 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109270620B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 郭康;路彦辉;谷新 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属线 偏振 制作方法 显示 面板 | ||
1.一种金属线栅偏振片的制作方法，其特征在于，包括：
提供一具有凹槽的模板；
在所述模板具有所述凹槽的表面上覆盖金属薄膜；
对所述金属薄膜进行压印处理，以形成金属线栅结构，所述金属线栅结构包括金属层及与所述金属层一体成型并覆盖所述模板的表面的覆盖层；
在所述覆盖层上覆盖基板，并使所述金属线栅结构与所述基板结合在一起；
将与所述基板结合在一起的所述金属线栅结构与所述模板分离；
对所述金属线栅结构进行刻蚀，以将位于相邻所述金属层之间的覆盖层刻蚀掉并露出所述基板的表面，制得所述金属线栅偏振片。
2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述覆盖层上覆盖基板之前，还包括：
对所述覆盖层进行减薄处理，以使所述覆盖层的厚度达到目标厚度。
3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述目标厚度小于30nm。
4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述模板具有所述凹槽的表面上覆盖金属薄膜，包括：
在所述模板具有凹槽的表面上沉积离型层；
在所述离型层上覆盖金属薄膜。
5.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述离型层的材料包括金属材料或含氟的有机物。
6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述对所述金属薄膜进行压印处理，包括：
在所述金属薄膜的表面上覆盖耐冲击层；
采用压印装置压印所述耐冲击层及所述金属薄膜，以使所述金属薄膜形成为所述金属线栅结构。
7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述压印装置为激光器。
8.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述耐冲击层的材料包括石墨。
9.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述覆盖层上覆盖基板，并使所述金属线栅结构与所述基板结合在一起，包括：
在所述覆盖层上覆盖基板，并采用键合技术使得所述金属线栅结构与所述基板结合在一起。
10.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述金属层的材料包括金属铝或金属银。
11.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述基板为硅片或玻璃。
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