[发明专利]金属线栅偏振片的制作方法及显示面板有效
申请号: | 201811368479.9 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN109270620B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 郭康;路彦辉;谷新 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30;G03F7/00 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属线 偏振 制作方法 显示 面板 | ||
本申请涉及显示技术领域,具体而言,涉及一种金属线栅偏振片的制作方法及显示面板。此金属线栅偏振片的制作方法包括:提供一具有凹槽的模板;在所述凹槽中形成金属层;将所述金属层转移到基板上,制得所述金属线栅偏振片。该技术方案能够简化金属线栅偏振片的制作流程,缩短制作时间,减少刻蚀工艺的次数,从而能够提升制程良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体而言,涉及一种金属线栅偏振片的制作方法及显示面板。
背景技术
现有技术中,金属线栅偏振片的制作方法主要采用在金属薄膜上涂敷压印胶并进行压印,最后通过多次刻蚀工艺以刻蚀出纳米级别的线栅结构。但此制作方法刻蚀出的线栅结构形貌均一性较差,易出现线栅结构塌陷等问题,从而导致金属线栅偏振片出现偏振度和透过率较差的问题,且该制作方法制作周期长、工艺复杂、效率低。
需要说明的是,在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本申请的目的在于提供一种金属线栅偏振片的制作方法及显示面板,能够简化金属线栅偏振片的制作流程,缩短制作时间,减少刻蚀工艺的次数,从而能够提升制程良率。
本申请第一方面提供了一种金属线栅偏振片的制作方法,其包括:
提供一具有凹槽的模板;
在所述凹槽中形成金属层;
将所述金属层转移到基板上,以制得所述金属线栅偏振片。
在本申请的一种示例性实施例中,所述在所述凹槽中形成金属层,包括:
在所述模板具有所述凹槽的表面上覆盖金属薄膜;
对所述金属薄膜进行压印处理,以形成金属线栅结构,所述金属线栅结构包括所述金属层及与所述金属层一体成型并覆盖所述模板的表面的覆盖层。
在本申请的一种示例性实施例中,所述将所述金属层转移至基板上,包括:
在所述覆盖层上覆盖基板,并使所述金属线栅结构与所述基板结合在一起;
将与所述基板结合在一起的所述金属线栅结构与所述模板分离;
对所述金属线栅结构进行刻蚀,以将位于相邻所述金属层之间的覆盖层刻蚀掉并露出所述基板的表面,制得所述金属线栅偏振片。
在本申请的一种示例性实施例中,在所述在所述覆盖层上覆盖基板之前,还包括:
对所述覆盖层进行减薄处理,以使所述覆盖层的厚度达到目标厚度。
在本申请的一种示例性实施例中,所述目标厚度小于30nm。
在本申请的一种示例性实施例中,所述在所述模板具有所述凹槽的表面上覆盖金属薄膜,包括:
在所述模板具有凹槽的表面上沉积离型层;
在所述离型层上覆盖金属薄膜。
在本申请的一种示例性实施例中,所述离型层的材料包括金属材料或含氟的有机物。
在本申请的一种示例性实施例中,所述对所述金属薄膜进行压印处理,包括:
在所述金属薄膜的表面上覆盖耐冲击层;
采用压印装置压印所述耐冲击层及所述金属薄膜,以使所述金属薄膜形成为所述金属线栅结构。
在本申请的一种示例性实施例中,所述压印装置为激光器。
在本申请的一种示例性实施例中,所述耐冲击层的材料包括石墨。
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