[发明专利]移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法

权利要求书

1.一种移动体装置，具备：

物体支承装置，将物体从下方悬浮支承；

移动体，可在保持被悬浮支承的前述物体的状态下，相对于前述物体支承装置相对移动；

第1支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第1保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第1保持面形成第1移动面；

第2支承装置，具有可悬浮支承前述物体的第2保持面，借由前述物体支承装置的至少一部分与前述第2保持面形成第2移动面；以及

搬送系统，具备：

第1搬送系统，以将在前述物体支承装置上被悬浮支承的前述物体，沿着前述第1移动面往前述第1保持面搬出的方式，使前述物体往第1方向移动；以及

第2搬送系统，在为使保持前述物体的前述移动体，保持与前述物体不同的其他物体，而前述物体的一部分位于前述物体支承装置上的状态下，将被前述第2保持面悬浮支承的前述其他物体，以沿着前述第2移动面往前述物体支承装置搬入的方式往第2方向移动，

前述移动体与前述物体支承装置，为使前述移动体保持前述其他物体，而在上下方向上一者相对于另一者相对移动。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，前述其他物体，以从前述物体支承装置搬出前述物体的方式，往与前述物体移动的前述第1方向不同的前述第2方向移动。

3.如权利要求1所述的移动体装置，其中，前述物体，以将前述其他物体往前述物体支承装置搬入的方式，往与前述其他物体移动的前述第2方向不同的前述第1方向移动。

4.如权利要求1所述的移动体装置，其中，前述移动体与前述物体支承装置，以解除借由前述移动体对前述物体的保持的方式，在上下方向上一者相对于另一者相对移动。

5.如权利要求1所述的移动体装置，其中，前述物体或前述其他物体，可在被悬浮支承的状态下，相对于由前述第1移动面与前述第2移动面与前述物体支承装置所形成的导引面相对移动。

6.一种物体处理装置，具备：

如权利要求1至5中任一项所述的移动体装置；以及

处理装置，对前述移动体保持的前述物体或前述其他物体进行既定的处理。

7.如权利要求6所述的物体处理装置，其中，前述处理装置为使用能量束对前述物体形成既定的图案的装置。

8.一种曝光装置，具备：

如权利要求1至5中任一项所述的移动体装置；以及

图案形成装置，借由能量束将前述物体或前述其他物体曝光而形成既定的图案。

9.如权利要求8所述的曝光装置，其中，前述物体或前述其他物体为尺寸是500mm以上的基板。

10.如权利要求8或9所述的曝光装置，其中，前述物体或前述其他物体为用于平板显示器装置的基板。

11.一种元件制造方法，包含：

使用如权利要求8或9所述的曝光装置将前述物体或前述其他物体曝光；以及

将曝光后的前述物体或前述其他物体显影。

12.一种平板显示器的制造方法，包含：

使用如权利要求8至10中任一项所述的曝光装置将作为前述物体而用于平板显示器的基板曝光；以及

将曝光后的前述基板显影。