[发明专利]移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法

说明书

本发明涉及移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法。于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pa)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pa)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

本案是申请日为2011年9月12日，申请号为201180044021.8，发明名称为“移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明系关于移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法，更详言的，系关于具备能与物体一起沿与水平面平行的既定二维平面内的既定范围的移动体的移动体装置、具备该移动体装置的曝光装置、使用该曝光装置的元件制造方法、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及在从下方支承前述物体的物体支承装置上交换物体的物体交换方法。

背景技术

以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影制程中，系使用一边使掩膜或标线片(以下总称为「掩膜」)与玻璃板或晶圆等物体(以下总称为「基板」)沿既定扫描(Scan)方向同步移动、一边将形成于掩膜的图案经由投影光学系统转印至基板上的步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机等)(参照例如专利文献1)。

此种曝光装置，曝光对象的基板被既定的基板交换装置搬入基板载台上，且在曝光处理结束后，被基板交换装置从基板载台上搬出。接着，藉由基板交换装置将其他基板搬入基板载台上。曝光装置，系藉由反复进行上述基板的搬入、搬出，而对复数个基板连续进行曝光处理。是以，在连续使复数个基板曝光时，最好是能迅速地进行基板往基板载台上的搬入及基板从基板载台上的搬出。

[专利文献]

[专利文献1]美国发明专利申请公开第2010/0018950号

发明内容

根据本发明的第1态样，提供一种第1移动体装置，其具备：移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有可在包含0度的至少两阶段变更其一面相对前述二维平面的倾斜角度的第1构件，从下方支承在前述既定范围内与前述移动体一起移动的前述物体；第1支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第1角度的第1状态的前述第1构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第1角度的第1移动面；第2支承装置，具有一面，可从下方支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第2角度的第2状态的前述第1构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第2角度的第2移动面；以及搬送系统，包含使前述物体沿前述第1移动面移动的第1搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第1及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第1及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上。此处，第1角度与第2角度亦可系相异或亦可相同。

根据上述，物体系在既定二维平面内的既定范围，在其端部保持于移动体且被物体支承装置从下方支承的状态下沿既定二维平面移动。又，物体系藉由沿第1及第2移动面的一方移动而从物体支承装置上搬出，其他物体则藉由沿第1及第2移动面的另一方移动而搬入物体支承装置上。亦即，物体对物体支承装置的搬入路径与搬出路径相异。因此，能迅速地进行物体支承装置上的物体交换。