[发明专利]基板裂片装置在审
| 申请号： | 201811375591.5 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110526567A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 郑下震 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/033 | 分类号： | C03B33/033 |
| 代理公司： | 11363 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 许伟群;郭放<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性部件 裂片杆 杆体 基板移动 加压基板 裂片装置 变形率 基板 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板裂片装置，其中，所述基板裂片装置包括裂片杆，所述裂片杆能够向基板移动以加压所述基板的表面，
所述裂片杆包括：
杆体；
第一弹性部件，其设置于所述杆体的最末端；及，
第二弹性部件，其设置于所述杆体与所述第一弹性部件之间，
所述第一弹性部件的材料相比于所述第二弹性部件的材料具有更大的对于外力的变形率。
2.根据权利要求1所述的基板裂片装置，其中，
所述第二弹性部件的形状是其中心相比于其外围朝向所述基板的方向更加突出形成，
所述第一弹性部件以围绕所述第二弹性部件的外围的方式形成。
3.根据权利要求1所述的基板裂片装置，其中，
在所述裂片杆的中心轴方向上，所述第一弹性部件的宽度大于所述第二弹性部件的宽度。
4.根据权利要求1所述的基板裂片装置，其中，
所述基板具有从所述基板表面突出的多个结构物，
所述第一弹性部件具有在所述裂片杆加压于所述基板时填充相互邻近的结构物之间的空间的大小。
5.根据权利要求1所述的基板裂片装置，其中，
所述裂片杆还包括引导部件，所述引导部件在所述裂片杆加压于所述基板时限制第一弹性部件的形状。
6.根据权利要求5所述的基板裂片装置，其中，
所述引导部件具有在所述引导部件与所述杆体之间容纳所述第一弹性部件的容纳空间。
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