[发明专利]拼接式压印模板及其制备方法和母模板

说明书

本公开提供了一种拼接式压印模板的制备方法，该拼接式压印模板包括：相邻的第一拼接区域和第二拼接区域，制备方法包括：在衬底基板上的第一拼接区域内形成第一拼接压印图形；在第一拼接压印图形背向衬底基板的一侧表面形成牺牲层；在衬底基板上的第二拼接区域内形成第二模板胶；采用预定母模板对位于第二拼接区域内的第二模板胶进行图案化，部分第二模板胶溢出至牺牲层背向衬底基板的一侧；对第二模板胶进行固化和脱模；通过特定除膜工艺去除牺牲层，位于牺牲层背向衬底基板的一侧的第二模板胶脱落，位于第二拼接区域的第二模板胶构成第二拼接压印图形。本公开还提供了一种拼接式压印模板和母模板。

技术领域

本公开涉及纳米压印技术领域，特别涉及拼接式压印模板及其制备方法和母模板。

背景技术

在制备大尺寸压印模板时，需要采用拼接压印用子图形的方式来形成压印用图形层，拼接方式包括：分离式拼接方式和重叠式拼接方式。其中，当采用分离式拼接方式时得到的压印用图形层具有较宽的拼接缝，当采用重叠式拼接方式时在溢胶区域(Overlap)具有较高的拼接段差。

由此可见，现有的拼接方式制备出的压印用图形层存在明显不良。

发明内容

本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种拼接式压印模板及其制备方法和母模板。

第一方面，本公开实施例提供了一种拼接式压印模板的制备方法，所述拼接式压印模板包括：相邻的第一拼接区域和第二拼接区域，所述制备方法包括：

在衬底基板上的所述第一拼接区域内形成第一拼接压印图形；

在所述第一拼接压印图形背向所述衬底基板的一侧表面形成牺牲层，所述牺牲层至少覆盖所述第一拼接区域内且靠近所述第二拼接区域的预定溢胶区域,所述牺牲层、所述第一拼接压印图形和后续待形成的第二拼接压印图形被配置为：在特定除膜工艺下，所述牺牲层被去除，而所述第一拼接压印图形和所述第二拼接压印图形保留；

在所述衬底基板上的所述第二拼接区域内形成第二模板胶；

采用预定母模板对位于所述第二拼接区域内的所述第二模板胶进行图案化，部分所述第二模板胶溢出至所述牺牲层背向所述衬底基板的一侧；

对所述第二模板胶进行固化和脱模；

通过所述特定除膜工艺去除所述牺牲层，位于牺牲层背向所述衬底基板的一侧的所述第二模板胶脱落，位于所述第二拼接区域的所述第二模板胶构成所述第二拼接压印图形。

在一些实施例中，所述牺牲层覆盖所述第一拼接区域。

在一些实施例中，在采用预定母模板对位于所述第二拼接区域内的所述第二模板胶进行图案化之后，位于所述牺牲层背向所述衬底基板一侧的所述第二模板胶与位于所述第二拼接区域内的第二模板胶分离。

在一些实施例中，所述牺牲层的材料包括：可降解材料；

所述通过所述特定除膜工艺去除所述牺牲层的步骤具体包括：通过降解工艺将所述牺牲层降解。

在一些实施例中，所述可降解材料包括：可降解型压印胶。

在一些实施例中，所述牺牲层的材料包括：水溶性材料；

所述通过所述特定除膜工艺去除所述牺牲层的步骤具体包括：通过水溶剂溶解所述牺牲层。

在一些实施例中，所述水溶性材料包括：聚乙烯醇树脂和聚己内酯树脂中的至少一种。

在一些实施例中，所述通过所述特定除膜工艺去除所述牺牲层的步骤之后还包括：

对所述压印模板进行干燥处理。