[发明专利]用于减少衍射效应的互补孔径

权利要求书

1.一种计算机实现的方法，包括：

确定用于利用成像设备执行测量的第一组孔径图案和第二组孔径图案，使得对于所述第一组孔径图案中的每个孔径图案，在所述第二组孔径图案中存在互补孔径图案，其中所述成像设备包括传感器和孔径组件，所述孔径组件具有多个孔径元件；

通过以下来针对所述第一组和所述第二组中的每个相应孔径图案执行测量：根据所述相应孔径图案，改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的属性；以及

处理所执行的所述测量以提取关于图像的信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所提取的所述信息与所述图像中的像素相对应。

3.根据权利要求1所述的方法，其中处理所执行的所述测量包括建立方程组以提取关于所述图像的所述信息。

4.根据权利要求1所述的方法，其中处理所执行的所述测量至少基于所确定的所述第一组孔径图案和所述第二组孔径图案以及由所述第一组图案和所述第二组孔径图案引起的、与所述孔径组件相关联的衍射效应。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的所述属性包括以下中的至少一项：

改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的透射率；以及

改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的反射率。

6.一种电子装置，包括：

用于确定用于利用成像设备执行测量的第一组孔径图案和第二组孔径图案的部件，使得对于所述第一组孔径图案中的每个孔径图案，在所述第二组孔径图案中存在互补孔径图案，其中所述成像设备包括传感器和孔径组件，所述孔径组件具有多个孔径元件；

用于通过以下来针对所述第一组和所述第二组中的每个相应孔径图案执行测量的部件：根据所述相应孔径图案，改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的属性；以及

用于处理所执行的所述测量以提取关于图像的信息的部件。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所提取的所述信息与所述图像中的像素相对应。

8.根据权利要求6所述的装置，其中用于处理所执行的所述测量的所述部件包括建立方程组以提取关于所述图像的所述信息。

9.根据权利要求6所述的装置，其中所执行的所述测量的处理至少基于所确定的所述第一组孔径图案和所述第二组孔径图案以及由所述第一组图案和所述第二组孔径图案引起的、与所述孔径组件相关联的衍射效应。

10.根据权利要求6所述的装置，其中改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的所述属性包括以下中的至少一项：

改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的透射率；以及

改变与所述多个孔径元件中的一个或多个孔径元件相关联的反射率。

11.根据权利要求6所述的装置，其中所述第一组孔径图案的确定基于感测矩阵，其中所述感测矩阵的每一行与所述第一组中的孔径图案中的不同的孔径图案相关联，并且其中针对所述第一组中的给定孔径图案的所述测量的执行包括：

基于在所述行中与所述给定孔径图案相对应的条目的值，改变与所述多个孔径元件中的所述一个或多个孔径元件相关联的所述属性。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述第二组孔径图案的确定基于互补感测矩阵，其中所述互补感测矩阵的每一行与所述第二组中的孔径图案中的不同的孔径图案相关联，并且其中与所述互补感测矩阵的第i行相关联的所述互补孔径图案对应于与所述感测矩阵的第i行相关联的所述孔径图案。