[发明专利]弹性波器件、射频前端电路和通信器件

说明书

弹性波器件包括压电材料层、设置在压电材料层上的IDT电极、以及覆盖IDT电极的介电膜。IDT电极包括第一电极层以及层叠在第一电极层上的第二电极层。第一电极层的波长归一化膜厚和第二电极层的波长归一化膜厚等于或大于约1.25％。波长归一化膜厚通过使用由IDT电极的电极指间距所限定的波长来归一化。第二电极层的密度低于第一电极层的密度。第二电极层的侧面相对于IDT电极的厚度方向倾斜。

技术领域

本发明涉及弹性波器件、射频前端电路和通信器件。

背景技术

在现有技术中，弹性波器件例如在蜂窝电话中的滤波器中广泛使用。在日本未审专利申请公开第2012-175315号中公开了示例性弹性波器件。在该弹性波器件中，具有层叠金属膜的叉指换能器(IDT)电极设置在压电基板上，在该层叠金属膜中层叠有多个金属层。IDT电极的电极指的侧面与IDT电极的厚度方向平行地延伸。IDT电极被设置在压电基板上的介电层覆盖。

在日本未审专利申请公开第2012-175315号描述的弹性波器件中，IDT电极被介电层覆盖。因此，IDT电极几乎不会损坏。然而，存在的问题在于，由于IDT电极被介电层覆盖的结构，相对带宽(fractional bandwidth)较窄。另外，根据IDT电极的金属层的结构不同，可能发生频率的大幅波动。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种弹性波器件、一种射频前端电路和一种通信器件，其可以使相对带宽更宽并且不易发生频率波动。

根据本发明的优选实施例的弹性波器件包括压电材料层、设置在压电材料层上的IDT电极、以及覆盖IDT电极的至少一部分的介电膜。IDT电极包括第一电极层以及层叠在第一电极层上的第二电极层。第一电极层的波长归一化膜厚和第二电极层的波长归一化膜厚等于或大于约1.25％。第一电极层的波长归一化膜厚和第二电极层的波长归一化膜厚通过使用由IDT电极的电极指间距所限定的波长来归一化。第二电极层的密度低于第一电极层的密度。第二电极层的侧面相对于IDT电极的厚度方向倾斜。

在根据本发明的优选实施例的弹性波器件的特定方面中，第一电极层的侧面相对于所述厚度方向倾斜。

在根据本发明的优选实施例的弹性波器件的另一特定方面中，第一电极层的侧面与所述厚度方向平行地延伸。在这种情况下，可以在第二电极层的侧面的倾斜角度的更宽范围中使相对带宽更宽。

在根据本发明的优选实施例的弹性波器件的另一特定方面中，第二电极层是Al层。将瑞利波用作主模式。Fr、Fsh、θ和T_Al的组合是表1中描述的组合，其中Fr表示瑞利波Fr的谐振频率，Fsh表示SH波的谐振频率，θ表示第一电极层和第二电极层相对于所述厚度方向的倾斜角度，并且T_Al表示第二电极层的波长归一化膜厚。在这种情况下，可以更确定地使相对带宽更宽。

表1

在根据本发明的优选实施例的弹性波器件的另一特定方面中，第一电极层是Pt层。第二电极层是Al层。将瑞利波用作主模式。θ、T_Pt和T_Al的组合是表2所述的组合，其中θ表示第一电极层和第二电极层相对于所述厚度方向的倾斜角度，T_Pt表示第一电极层的波长归一化膜厚，并且TAl表示第二电极层的波长归一化膜厚。在这种情况下，可以更确定地使相对带宽更宽。

表2