[发明专利]一种锑化镓单晶片上下表面打磨设备在审
| 申请号： | 201811394223.5 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109434591A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王歆;吴秀丽;陈琳 | 申请（专利权）人： | 湖南大合新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B27/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B7/07 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 曾志鹏 |
| 地址： | 421000 湖南省衡阳市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 锑化镓单晶 上端 上表面 升降座 打磨 电机 打磨机构 真空吸盘 直线导轨 固定板 支撑架 支撑座 柜体 底座 电机输出轴 输出轴连接 打磨设备 固定设置 上下表面 上下升降 升降机构 手工打磨 效率低等 转轴末端 打磨盘 快速夹 转轴 | ||
1.一种锑化镓单晶片上下表面打磨设备，其特征在于，它包括底座(21)，其上端设置有支撑架(17)，支撑架(17)的上端设置有顶梁(9)，顶梁(9)的底部设置有第一直线导轨(8)，第一直线导轨(8)上安装有滑鞍(10)，滑鞍(10)的左端设置有锑化镓单晶片表面打磨机构；滑鞍(10)的右端与横向推进机构连接，实现左右移动；锑化镓单晶片表面打磨机构包括第一电机(7)、与第一电机(7)输出轴相连的转轴(5)、设置在转轴(5)末端的打磨盘(4)；支撑架(17)的左侧设置有第二直线导轨(18)，第二直线导轨(18)上安装有升降座(16)，升降座(16)与升降机构连接实现上下升降，升降座(16)上设置有第二电机(1)，第二电机(1)的输出轴连接真空吸盘(2)，锑化镓单晶片(3)安装在真空吸盘(2)上，打磨盘(4)设置在锑化镓单晶片(3)的正上方。
2.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片上下表面打磨设备，其特征在于，升降机构包括滚珠丝杆(15)和第三电机(19)，滚珠丝杆(15)与第三电机(19)的输出轴连接，滚珠丝杆(15)的螺母与升降座(16)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片上下表面打磨设备，其特征在于，横向推进机构包括设置在滑鞍(10)的右端的齿条(11)，齿条(11)穿过支撑架(17)上的通孔(12)后与第四电机(13)输出轴上的齿轮(20)相互啮合，第四电机(13)安装在顶梁(9)右侧的固定架(14)上。
4.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片上下表面打磨设备，其特征在于，锑化镓单晶片表面打磨机构的外侧设置有保护罩(6)。
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