[发明专利]一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备在审

专利信息
申请号: 201811394227.3 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109514378A 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 王歆;吴秀丽;陈琳 申请(专利权)人: 湖南大合新材料有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B47/12;B24B41/06;B24B41/02;B24B27/00;B24B55/00
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 曾志鹏
地址: 421000 湖南省衡阳市*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 锑化镓单晶 上端 柜体 滑块 打磨 打磨设备 固定功能 真空吸盘 直线导轨 支撑架 支撑座 侧边 侧面 支架 电机 输出轴连接 打磨机构 快速调节 手工打磨 推进机构 效率低等 压紧模块 左右移动 快速夹 切削 伸缩 下端 底座 自动化
【权利要求书】:

1.一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(18),其上端设置有柜体(3),柜体(3)的左上端设置有直线导轨(8),直线导轨(8)上安装有滑块(7),滑块(7)与推进机构连接实现左右移动,滑块(7)的上端设置有支撑架(9),支撑架(9)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(12)、与第一电机(12)输出轴相连的转轴(11)、设置在转轴(11)末端的打磨盘(10),打磨盘(10)设置在锑化镓单晶片(16)的侧方;柜体(3)的右上端设置有支撑座(15),支撑座(15)的上端设置有支架(14),支架(14)的左下端安装有伸缩压紧模块(13),柜体(3)的右上端设置有凹槽(2),凹槽(2)内设置有第二电机(1),第二电机(1)的输出轴连接真空吸盘(17),锑化镓单晶片(16)安装在真空吸盘(17)上。

2.根据权利要求1所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,推进机构包括固定设置在滑块(7)左侧的齿条(4)和设置在柜体(3)上端的第三电机(6),第三电机(6)的输出轴连接齿轮(5),齿条(4)与齿轮(5)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,伸缩压紧模块(13)包括气缸(1301)、固定法兰(1309)、连接轴(1308)、轴承(1302)、圆管(1303)、端板(1304)、导向杆(1307)、弹簧(1306)和顶板(1305);其中固定法兰(1309)与气缸(1301)的伸出端连接,连接轴(1308)设置在固定法兰(1309)的底部,轴承(1302)设置在圆管(1303)内且与连接轴(1308)末端连接,端板(1304)固定在圆管(1303)底部,导向杆(1307)的一端设置在端板(1304)中的导向孔(1310)内,导向杆(1307)的另一端与顶板(1305)固定连接,导向杆(1307)在导向孔(1310)内设置有限位环(1311),弹簧(1306)套设在端板(1304)和顶板(1305)之间的导向杆(1307)上。

4.根据权利要求3所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,端板(1304)与圆管(1303)之间通过沉头螺钉连接。

5.根据权利要求3所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,顶板(1305)的底部具有防滑层。

6.根据权利要求5所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,顶板(1305)为橡胶材料。

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