[发明专利]机械引入装置

权利要求书

1.一种机械引入装置，适于安装在真空腔体上，其特征在于，包括：

固定座，设置于所述真空腔体上；

中空转轴，设置于所述固定座当中；

中空管，设置于所述中空转轴中，并且穿设于所述真空腔体；

转接法兰，套设于所述中空管的真空侧，并且贴设于所述中空转轴，其中所述转接法兰与所述中空管之间具有环形槽孔；

第一O型环，套设于所述中空管的所述真空侧；以及

环形压板，套设于所述中空管的所述真空侧，其中所述第一O型环设置于所述环形压板与所述转接法兰之间，并且所述环形压板与所述转接法兰贴合，以压设所述第一O型环的至少一部分于所述环形槽孔之中，以密封所述中空转轴与所述中空管之间的接缝处。

2.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，所述环形槽孔的环宽小于所述中空转轴的管壁厚度。

3.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，所述环形压板对应于所述环形槽孔的一处具有微侧壁结构。

4.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，所述第一O型环为合成橡胶材料，并且当所述环形压板与所述转接法兰贴合时，所述第一O型环填满所述环形槽孔。

5.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，还包括：

多个第一轴承，设置于所述中空转轴与所述固定座之间。

6.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，还包括：

第二O型环，设置于所述中空转轴与所述固定座之间，并且所述第二O型环为可旋转状态。

7.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，还包括：

第三O型环，设置于所述中空管与所述中空转轴之间。

8.根据权利要求1所述的机械引入装置，其特征在于，还包括：

冷却水环，套设于所述中空转轴的大气侧，其中所述冷却水环包括冷却水入水孔以及冷却水出水孔。

9.根据权利要求8所述的机械引入装置，其特征在于，还包括：

多个第二轴承，设置于所述中空转轴与所述冷却水环之间。

10.根据权利要求8所述的机械引入装置，其特征在于，还包括：

第四O型环，设置于所述中空转轴与所述冷却水环之间，并且所述第四O型环为可旋转状态。