[发明专利]机械引入装置

说明书

本发明提出一种机械引入装置。机械引入装置包括固定座、中空转轴、中空管、转接法兰、第一O型环以及环形压板。固定座设置于真空腔体上。中空转轴设置于固定座当中。中空管设置于中空转轴中，并且穿设于真空腔体。转接法兰套设于中空管的真空侧，并且贴设于中空转轴。转接法兰与中空管之间具有环形槽孔。第一O型环套设于中空管的真空侧。环形压板套设于中空管的真空侧。第一O型环设置于环形压板与转接法兰之间。环形压板与转接法兰贴合，以压设第一O型环的至少一部分于环形槽孔之中，以密封中空转轴与中空管之间的接缝处。因此，本发明的机械引入装置可提供良好的高温真空密封效果。

技术领域

本发明涉及一种机械装置，尤其涉及一种机械引入装置。

背景技术

随着制程技术的发展，真空高温制程的需求越来越高。然而，一般来说，为了因应真空高温制程需求，引入装置的轴心需有高温250℃的热煤油流通，并且同时进行旋转动力的传递。对此，一般的引入装置是利用磁性流体来达到真空密封的功能，因此导致制造成本以及维修成本过高。因此，如何提供一种可有效达成可适应真空高温环境的密封效果的引入装置，以下将提出几个实施例的解决方案。

发明内容

本发明提供一种机械引入装置，可提供良好的高温真空密封效果。

本发明的一种机械引入装置适于安装在真空腔体上。机械引入装置包括固定座、中空转轴、中空管、转接法兰、第一O型环以及环形压板。固定座设置于真空腔体上。中空转轴设置于固定座当中。中空管设置于中空转轴中，并且穿设于真空腔体。转接法兰套设于中空管的真空侧，并且贴设于中空转轴。转接法兰与中空管之间具有环形槽孔。第一O型环套设于中空管的真空侧。环形压板套设于中空管的真空侧。第一O型环设置于环形压板与转接法兰之间。环形压板与转接法兰贴合，以压设第一O型环的至少一部分于环形槽孔之中，以密封中空转轴与中空管之间的接缝处。

在本发明的一实施例中，上述的环形槽孔的环宽小于中空转轴的管壁厚度。

在本发明的一实施例中，上述的环形压板对应于槽孔的一处具有微侧壁结构。

在本发明的一实施例中，上述的第一O型环为弹性材料。当环形压板与转接法兰贴合时，第一O型环填满槽孔。

在本发明的一实施例中，上述的机械引入装置还包括多个第一轴承。所述多个第一轴承设置于中空转轴与固定座之间。

在本发明的一实施例中，上述的机械引入装置还包括第二O型环。第二O型环设置于中空管与中空转轴之间。

在本发明的一实施例中，上述的机械引入装置还包括第三O型环。第三O型环设置于中空转轴与固定座之间，并且第三O型环为可旋转状态。

在本发明的一实施例中，上述的机械引入装置还包括冷却水环。冷却水环套设于中空管的大气侧，并且套设在中空转轴上。冷却水环包括冷却水入孔以及冷却水出孔。

在本发明的一实施例中，上述的机械引入装置还包括多个第二轴承。所述多个第二轴承设置于中空转轴与冷却水环之间。

在本发明的一实施例中，上述的机械引入装置还包括第四O型环。第四O型环设置于中空转轴与冷却水环之间，并且第四O型环为可旋转状态。

基于上述，本发明的机械引入装置适于设置在真空腔体的腔壁上，并且可通过转接法兰、第一O型环以及环形压板所组成的迫紧机构，来提供良好的高温真空密封效果。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的机械引入装置的侧面结构示意图。

图2是依照图1实施例的环形压板、第一O型环以及转接法兰贴合后的结构示意图。