[发明专利]光电子器件和用于制造光电子器件的方法有效
申请号: | 201811398432.7 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN109817795B | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | P.纳格尔 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L33/54 | 分类号: | H01L33/54;H01L33/60;H01L25/075 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张涛;刘春元 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电子 器件 用于 制造 方法 | ||
1.光电子器件(11,12,13),包括:
具有安装面(21)的载体(20),
其中,在所述安装面(21)上方布置构造成用于发射电磁辐射(80)的至少一个光电子半导体芯片(30),
其中在所述安装面(21)上方布置模制材料(60),
其中所述光电子半导体芯片(30)被嵌入在所述模制材料(60)中,
其中空腔(71)被构造在所述模制材料(60)中,
其中所述空腔(71)是空的,
其中所述光电子半导体芯片(30)的辐射发射面(34)不被所述模制材料(60)覆盖,
其中,所述空腔(71)能通过所述模制材料(60)中的开口(72)予以接近,
其中,所述开口(72)的开口面(73)小于所述光电子半导体芯片(30)的所有辐射发射面(34)的总和,
其中所述模制材料(60)的凹形构造的区段(61)布置在所述光电子半导体芯片(30)之间并且朝向所述开口(72)敞开。
2.根据权利要求1所述的光电子器件(11,12,13),
其中所述空腔(71)至少部分地具有朝向所述开口(72)逐渐变细的横截面。
3.根据权利要求2所述的光电子器件(11,12,13),
其中所述逐渐变细的横截面构造成凸形。
4.根据前述权利要求之一所述的光电子器件(11,12,13),
其中所述模制材料(60)具有嵌入的反射颗粒。
5.根据权利要求1至3之一所述的光电子器件(11,12,13),
其中在所述光电子半导体芯片(30)的至少一个辐射发射面(34)上方布置波长转换材料(40)。
6.用于制造光电子器件(11,12,13)的方法,具有以下方法步骤:
-提供具有安装面(21)的载体(20);
-在所述载体(20)的安装面(21)上方布置至少一个构造成用于发射电磁辐射(80)的光电子半导体芯片(30);
-在所述光电子半导体芯片(30)的辐射发射面(34)上方布置由盐制成的牺牲体(50);
-在所述载体(20)的安装面(21)上方布置和固化模制材料(60),其中,所述光电子半导体芯片(30)和所述牺牲体(50)嵌入在所述模制材料(60)中;
-除去所述牺牲体(50),其中具有与所述牺牲体(50)相应的几何形状的空的空腔(71)和在所述光电子半导体芯片(30)之间的凹形构造的区段(61)保留在所述模制材料(60)中,其中在模制材料(60)中产生开口(72),其中所述空腔(71)能通过所述开口(72)予以接近,其中所述凹形构造的区段(61)朝向所述开口(72)敞开。
7.根据权利要求6所述的方法,
其中通过用溶剂溶解进行所述牺牲体(50)的除去。
8.根据权利要求6或7所述的方法,
其中在除去所述牺牲体(50)之前执行以下方法步骤:
-移除所述模制材料(60),直到能在所述模制材料(60)的表面(62)处接近所述牺牲体(50)为止。
9.根据权利要求6至7之一所述的方法,
其中所述牺牲体(50)在其布置在所述光电子半导体芯片(30)的辐射发射面(34)上方之前已被构造出。
10.根据权利要求6至7之一所述的方法,
其中将所述牺牲体(50)布置在所述辐射发射面(34)上方包括以下方法步骤:
-在所述辐射发射面(34)上方施加盐;
-加工所述盐,由此产生所述牺牲体(50)。
11.根据权利要求9所述的方法,
其中所述盐借助裂解方法和/或借助切削加工方法予以处理。
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