[发明专利]一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统

权利要求书

1.一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其特征在于，包括：

一光刻胶瓶；

一光刻胶过滤系统，所述光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；

所述第一光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端，所述第一光刻胶缓冲罐的入口端通过所述光刻胶过滤器组连接所述第一光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶储存罐的入口端通过所述第一光刻胶压缩泵连接所述第一光刻胶缓冲罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的入口端连接所述第二光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的第一出口端通过一循环回路连接所述所述第一光刻胶储存罐的入口端；

一光刻胶喷涂系统，所述光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴；

所述第三光刻胶缓冲罐的入口端通过所述第二光刻胶压缩泵连接所述第二光刻胶缓冲罐的第二出口端，所述喷嘴的入口端通过一压力控制阀门连接所述第三光刻胶缓冲罐的出口端。

2.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶过滤器组包括至少两个光刻胶过滤器，至少两个所述光刻胶过滤器串联连接，以对所述光刻胶进行多重过滤。

3.根据权利要求2所述的光刻胶输送系统，其特征在于，每个所述光刻胶过滤器的顶部均设置液体阀门。

4.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶瓶为一圆柱形结构，以盛放所述光刻胶。

5.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶瓶的容量均大于所述第一光刻胶储存罐与所述第二光刻胶储存罐的容量。

6.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶瓶的容量均大于所述第一光刻胶缓冲罐、所述第二光刻胶缓冲罐及所述第三光刻胶第三缓冲罐的容量。

7.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述第一光刻胶储存罐与所述第二光刻胶储存罐的顶部均设置液体阀门。

8.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述第一光刻胶缓冲罐、所述第二光刻胶缓冲罐及所述第三光刻胶缓冲罐的顶部均设置液体阀门。

9.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶输送系统包括复数个输送管路，以输送所述光刻胶。

10.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶由尼龙和聚乙烯组成。