[发明专利]一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统

说明书

本发明公开一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其中包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；一光刻胶喷涂系统，光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴。本发明的技术方案有益效果在于：把整个光刻胶输送系统分为过滤系统与喷涂系统，在过滤系统中增加压缩泵和多个过滤器，同时增加循环回路，以进行循环过滤提高过滤效果，在喷涂系统中增加压缩泵，能够精确地输送光刻胶的喷涂，进一步提高光刻胶喷涂的稳定性。

技术领域

本发明涉及光刻胶过滤技术领域，尤其涉及一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统。

背景技术

随着集成电路技术的发展，新的工艺对光刻胶微粒的过滤和喷涂提出更为严格的要求。为了提高光刻胶的过滤性能，提出两个方向：(1)减小过滤器的孔径；(2)增加过滤膜的种类；而这两种方案对传统的光刻胶输送系统形成严格的挑战，同时降低了喷涂的稳定性，会出现微气泡，覆盖不全等光刻胶喷涂问题。

传统的光刻胶输送系统由泵、过滤器及若干阀门组成，如图1所示，其中包括光刻胶瓶T1、光刻胶罐T2、光刻胶过滤器T3、第一光刻胶缓冲罐T4、光刻胶压缩泵T5、第二光刻胶缓冲罐T6、压力控制阀门T7、喷嘴T8，泵放置在过滤器钱，泵抽去瓶内的光刻胶通过过滤器并送达至喷嘴，结构简单，由单一泵完成光刻胶的过滤和输送，使得喷胶稳定性差，容易出现微气泡等缺陷。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统。

具体技术方案如下：

一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其中包括：

一光刻胶瓶；

一光刻胶过滤系统，光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；

所述第一光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端，所述第一光刻胶缓冲罐的入口端通过所述光刻胶过滤器组连接所述第一光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶储存罐的入口端通过所述第一光刻胶压缩泵连接所述第一光刻胶缓冲罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的入口端连接所述第二光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的第一出口端通过一循环回路连接所述所述第一光刻胶储存罐的入口端；

一光刻胶喷涂系统，所述光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴；

所述第三光刻胶缓冲罐的入口端通过所述第二光刻胶压缩泵连接所述第二光刻胶缓冲罐的第二出口端，所述喷嘴的入口端通过一压力控制阀门连接所述第三光刻胶缓冲罐的出口端。

优选的，所述光刻胶过滤器组包括至少两个光刻胶过滤器，至少两个所述光刻胶过滤器串联连接，以对所述光刻胶进行多重过滤。

优选的，每个所述光刻胶过滤器的顶部均设置液体阀门。

优选的，所述光刻胶瓶为一圆柱形结构，以盛放所述光刻胶。

优选的，所述光刻胶瓶的容量均大于所述第一光刻胶储存罐与所述第二光刻胶储存罐的容量。

优选的，所述光刻胶瓶的容量均大于所述第一光刻胶缓冲罐、所述第二光刻胶缓冲罐及所述第三光刻胶第三缓冲罐的容量。

优选的，所述第一光刻胶储存罐与所述第二光刻胶储存罐的顶部均设置液体阀门。

优选的，所述第一光刻胶缓冲罐、所述第二光刻胶缓冲罐及所述第三光刻胶缓冲罐的顶部均设置液体阀门。

优选的，所述光刻胶输送系统包括复数个输送管路，以输送所述光刻胶。