[发明专利]机台及面板制作方法有效

专利信息
申请号: 201811410451.7 申请日: 2018-11-23
公开(公告)号: CN109659258B 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 金祥;陈敏 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B26D7/02;B26D7/18;B26D7/20
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂;鞠骁
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 机台 面板 制作方法
【权利要求书】:

1.一种机台,其特征在于,包括载台(10)、多个载具(20)以及分别与多个载具(20)对应连接的多个驱动装置(30);

所述多个载具(20)沿远离载台(10)的方向依次排列;所述载台(10)的一端设有开口(11),所述多个载具(20)在竖直方向的投影均位于所述开口(11)内;

所述驱动装置(30)用于驱动对应的载具(20)沿竖直方向移动;

所述载台(10)的上表面间隔设有多个第一真空孔(12);每一载具(20)的上表面间隔设有多个第二真空孔(21)。

2.如权利要求1所述的机台,其特征在于,所述开口(11)两侧壁之间的距离沿远离开口(11)底部的方向逐渐增大;

多个载具(20)所在区域在竖直方向上的投影与开口(11)重合。

3.如权利要求1所述的机台,其特征在于,所述载具(20)的数量为5个。

4.如权利要求1所述的机台,其特征在于,所述驱动装置(30)为马达。

5.一种面板制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤S1、提供机台及待切割面板(90);

所述机台包括载台(10)、多个载具(20)以及分别与多个载具(20)对应连接的多个驱动装置(30);所述多个载具(20)沿远离载台(10)的方向依次排列;所述载台(10)的一端设有开口(11),所述多个载具(20)在竖直方向的投影均位于所述开口(11)内;

所述待切割面板(90)包括依次设置的面板区(91)及边缘区(92);

步骤S2、将待切割面板(90)设于载台(10)的上表面,使得待切割面板(90)的边缘区(92)位于载台(10)的开口(11)上方;

步骤S3、利用对应的驱动装置(30)驱动位于待切割面板(90)下方的载具(20)向上移动使其接触待切割面板(90);

步骤S4、沿面板区(91)及边缘区(92)的交界对待切割面板(90)进行切割,使面板区(91)与边缘区(92)分离;

步骤S5、利用对应的驱动装置(30)驱动位于待切割面板(90)的边缘区(92)下方的载具(20)向上移动将边缘区(92)去除;

所述载台(10)的上表面间隔设有多个第一真空孔(12);每一载具(20)的上表面间隔设有多个第二真空孔(21);

所述步骤S2将待切割面板(90)设于载台(10)的上表面后,对载台(10)的多个第一真空孔(12)进行抽真空以吸附待切割面板(90);

所述步骤S3使位于待切割面板(90)下方的载具(20)接触待切割面板(90)后,对位于待切割面板(90)下方的载具(20)的第二真空孔(21)进行抽真空以吸附待切割面板(90)。

6.如权利要求5所述的面板制作方法,其特征在于,所述开口(11)两侧壁之间的距离沿远离开口(11)底部的方向逐渐增大;

多个载具(20)所在区域在竖直方向上的投影与开口(11)重合。

7.如权利要求5所述的面板制作方法,其特征在于,所述载具(20)的数量为5个。

8.如权利要求5所述的面板制作方法,其特征在于,所述驱动装置(30)为马达。

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