[发明专利]使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统

权利要求书

1.一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；

(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间；

(3)、通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。

2.如权利要求1所述的使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。

3.如权利要求1所述的使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，所述第一光学系统与第二光学系统组成为平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统，此时所述平面反射镜可以通过球面反射镜替代。

4.一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，其特征在于，包括：

标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；

在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。

5.如权利要求1所述的使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，其特征在于，通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。

6.如权利要求4所述的使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，其特征在于，所述第一光学系统与第二光学系统组成为平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统，此时所述平面反射镜可以通过球面反射镜替代。