[发明专利]使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统

说明书

本发明公开了一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统，方法包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、第二光学系统及平面反射镜；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。(3)、通过所述干涉仪进行装调检测。本发明在使用装调用平板对光学系统进行装调检测，可以在不改变本来光学系统结构的情况下，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。

技术领域

本发明涉及高精密光学系统设计制造技术领域，特别涉及一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统。

背景技术

在实际设计制造高精密光学系统过程中，不光需要对光学系统进行较好的设计，同时在加工制造过程中，需要控制加工公差等保证实际光学系统具有良好的成像质量。其中，对光学系统装调是其重要的一步。由于现在所使用的常见的高精度仪器为可见光干涉仪，其干涉仪发射的光线波长为632.8nm。而光学系统实际使用波长不一定包括此波段。如果光学系统针对此波段进行色差校正，则会导致光学系统更复杂，成本增加。本发明提出一种方法，通过设计光路使用装调补偿器的方式，在光学系统不校正色差的情况下，可以使用干涉仪进行装调检测，保证光学系统精度。

发明内容

本发明旨在克服现有技术的缺陷，提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，包括如下步骤：

(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；

(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。

(3)、通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧针对干涉仪波长的平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。

通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统组成的扩束光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。

所述第一光学系统与第二光学系统组成平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统。

所述平面反射镜可以通过球面反射镜替代。

本发明还提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，包括：

标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；

在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。

通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。

通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。

所述第一光学系统与第二光学系统组成为平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统，此时所述平面反射镜可以通过球面反射镜替代。本发明的有益效果在于：本发明在使用装调用平板对光学系统进行装调检测，可以在不改变本来光学系统结构的情况下，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。