[发明专利]一种柔性铰链结构

说明书

本发明提供了一种柔性铰链结构，其特征在于，包括：刚性驱动端(3)；安装固定端(1)，其通过第一柔性部分(11)与刚性驱动端(3)上表面长度方向的一端连接，安装固定端(1)的表面设有第一固定结构(100)；位移输出端(2)，其通过第二柔性部分(21)与刚性驱动端(3)上表面长度方向的另一端连接；导向固定端(4)，其通过第三柔性部分(41)对称地设于位移输出端(2)的两侧面上，该两侧面与刚性驱动端(3)上表面长度方向平行，导向固定端(4)的表面设有第二固定结构(400)。通柔性部分将驱动块与位移块呈90度连接，实现输出方向位移与驱动方向位移呈90度输出。

技术领域

本发明涉及精密微传动技术领域，尤其涉及一种柔性铰链结构。

背景技术

在精密光学系统中常常遇到输出方向和驱动方向呈90度夹角的场合，特别是在光学曝光系统中，动镜的调节是很微小，往往只有几微米甚至更小的位移量，急需设计一种高精度的微小位移结构，以满足精密系统中方向呈90度的传动。

发明内容

(一)要解决的技术问题

通过本发明的一种柔性铰链结构，至少解决以上技术问题。

(二)技术方案

本发明提供了一种柔性铰链结构，包括：刚性驱动端3；安装固定端1，其通过第一柔性部分11与刚性驱动端3上表面长度方向的一端连接，安装固定端1的表面设有第一固定结构100；位移输出端2，其通过第二柔性部分21与刚性驱动端3上表面长度方向的另一端连接；导向固定端4，其通过第三柔性部分41对称地设于位移输出端2的两侧面上，该两侧面与刚性驱动端3上表面长度方向平行，导向固定端4的表面设有第二固定结构400。

可选地，安装固定端1由至少一个第一刚性块组成，第一刚性块之间通过第四柔性部分12连接，其中，第一固定结构100设于最外侧的第一刚性块的表面。

可选地，位移输出端2由至少两个第二刚性块组成，第二刚性块之间通过第五柔性部分22连接。

可选地，导向固定端4由至少两个第三刚性块组成，第三刚性块之间通过第六柔性部分42连接，其中，所述第二固定结构400设于最外侧的第三刚性块表面。

可选地，第一柔性部分11、第二柔性部分21、第四柔性部分12及第五柔性部分22相互平行。

可选地，第一柔性部分11、第二柔性部分21、第四柔性部分12及第五柔性部分22的长度方向与安装固定端1的长度方向垂直。

可选地，第六柔性部分42与第三柔性部分41相互平行。

可选地，第六柔性部分42和第三柔性部分41与安装固定端1的长度方向平行。

可选地，第一柔性部分11、第二柔性部分21、第三柔性部分41、第四柔性部分12、第五柔性部分22及第六柔性部分42的截面为工字型或圆弧形。

可选地，第一固定结构100及第二固定结构400分别为至少一个安装孔。

(三)有益效果

本发明提供了一种柔性铰链结构，通柔性部分将驱动块与位移块呈90度连接，由于柔性部分可以进行弹性变形，使得输出方向位移和驱动方向位移呈90度变化，同时该机构之间不存在进行力传递的连杆机构，是通过柔性部分直接将驱动端与位移输出端相连接，因此结构紧凑，响应迅速。

附图说明

图1示意性示出了本公开实施例的柔性铰链结构的立体图；

图2示意性示出了本公开实施例图1中所示的柔性铰链结构的主视图；

图3示意性示出了本公开实施例图1中所示的柔性铰链结构的后视图；