[发明专利]通过EBSD技术提取晶体中特定晶面的方法

权利要求书

1.通过EBSD技术提取晶体中特定晶面的方法，其特征在于，该方法用于抽取再结晶、亚结构、高Schmid 因子、孪晶或高应变的晶粒，并且通过Image-Pro Plus软件定量统计这些晶粒类型的晶面的等效尺寸、间距、含量、面积分数信息，能够抽出不同处理后的晶粒；通过该方法，可以同时抽出不同类型晶粒的晶面，也可以单独分开抽取；

所述方法包括以下步骤：

1）制备EBSD样品；

2）在配备有EBSD探头的扫描电镜下对EBSD样品进行扫描，记录样品宏观方向，获得选定的观察面的不同取向晶面的信息；

3）通过CHANNEL5软件处理EBSD系统获取的不同取向晶面的信息，提取晶体中某种晶面：

先通过CHANNEL5软件中Tango模块把观察面内的所有晶粒的取向信息通过Mapproperties 功能表中IPF colouring图来表示；再通过Mambo模块中New pole figuresheet工具导出极图和反极图，在不同类型晶面的极图上表示观察面内的所有晶面，不同晶面用IPF colouring图来表示，并导出要抽出的晶面相对应的极图；观察要抽出的晶面极图中心0-5°范围内晶粒的颜色，确定该晶粒的晶面相对应的颜色表示；通过Grain AreaDetermination工具得出该观察面所有晶粒的信息，包括尺寸，欧拉角、等效直径的统计表格，提取出晶体中某种类型的晶面；

其中，提取晶体中某种类型晶面有以下三种方法：

方法一：

通过欧拉角抽出：通过Current record工具点击不同晶面，测定并记录要抽出的同种颜色晶面的欧拉角，选取Grain Area Determination工具统计出来表格中记录的欧拉角，并建立一个新项目，该新项目能够表示所抽出的晶面；

方法二：

通过在Grain Area DeTermination工具统计出来的表格中直接选定所有的欧拉角晶粒，建立一个新项目，然后在该新项目上通过选取晶粒工具Subset SelectionTools去除不要的晶粒，结合要抽出那种类型晶面的极图，进行实时去除，从而得到所需要的同种颜色的晶面；

方法三：

先通过Subset selection工具，先去除抽出晶面所对应极图的所有晶粒，并且把极图放到最大倍数，并且用测量工具Angular measurement在极图中心画出5°范围的直线，然后以极图中心为圆点，以5°的直线为直径，通过Subset selection工具在极图上圈出直径为5°范围内的圆，或者根据反极图对应的晶面位置圈出对应的晶面，并建立一个新项目，即抽出了在IPF图上显示所求晶面极图中心5°范围内的所有晶粒，最后通过IPF图的SubsetSelection工具进行筛选，对着相应的极图，通过选取或者去除功能来去除所求晶面极图中心5°范围晶粒的误抽出晶面；

通过Mambo模块中New pole figure sheet功能，把抽出同种颜色的晶面的新项目用该晶面相对应的极图表示，看抽出的晶面是否全部在该晶面对应的极图的中心，并用选取晶粒工具Subset SelectionTools实时地去除不在极图中心0-5°的晶面，以减小抽出误差。

2.按照权利要求1所述通过EBSD技术提取晶体中特定晶面的方法，其特征在于：极图中心0-5°的测量通过CHANNEL5软件中工具Angular measurement来实现。

3.按照权利要求1所述通过EBSD技术提取晶体中特定晶面的方法，其特征在于：把抽出晶面的极图制成云图，如果云图的等高线密集处在云图中心，说明抽出的颜色晶面表示的就是某种类型的晶面在该观察面内的分布。