[发明专利]一种玻璃表面缺陷检测系统及方法有效
| 申请号： | 201811418935.6 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109297991B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李晓春 | 申请（专利权）人： | 深圳市麓邦技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 44384 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 承载平台 检测 检测系统 深紫外光 玻璃 缺陷检测系统 深紫外光源 背景干扰 玻璃表面 专用相机 可见光光源 紫外光 玻璃缺陷 技术采用 倾斜照射 图像采集 准确率 正对 反射 光源 判定 照射 采集 发射 支撑 | ||
1.一种玻璃表面缺陷检测系统，其特征在于：包括承载平台、深紫外光源以及专用相机，其中承载平台用于支撑放置待检测玻璃；所述深紫外光源发射紫外光照射所述承载平台上的待检测玻璃；所述专用相机安装于所述承载平台正上方并正对着所述承载平台表面，用于图像的采集；
所述专用相机包括一个相机传感器，所述相机传感器前端设有滤光器，所述滤光器用于屏蔽波长大于400nm的光；所述相机传感器的硅衬底厚度为100um～300um；
所述深紫外光源发光方向与所述承载平台支撑面形成的夹角大小为1°～90°，所述深紫外光源为中空结构的环形光源。
2.根据权利要求1所述的玻璃表面缺陷检测系统，其特征在于：所述深紫外光源的亮度可调，发射的深紫外光波长为200nm～400nm。
3.根据权利要求1所述的玻璃表面缺陷检测系统，其特征在于：所述深紫外光源发光方向与所述承载平台支撑面形成的夹角大小为90°。
4.一种玻璃表面缺陷检测方法，采用上述权利要求 1-3任意一项所述的玻璃表面缺陷检测系统，其特征在于：包括以下几个步骤：
待检测玻璃安放：将待检测玻璃于所述专用相机正下方平放于所述承载平台上；
深紫外光照射：打开所述深紫外光源使得 深紫外光斜照射待检测玻璃表面；其中，所述深紫外光源发光方向与所述承载平台支撑面形成的夹角大小为1°～90°，所述深紫外光源为中空结构的环形光源；
图像采集：通过使用所述专用相机采集图像；
所述专用相机包括一个相机传感器，所述相机传感器前端设有滤光器，所述滤光器用于屏蔽波长大于400nm的光；
所述相机传感器的硅衬底厚度为100um～300um；
判定待检测玻璃是否存在缺陷：若专用相机采集到的图像灰度值处处相等，则判定该待检测玻璃质量合格；若图像存在灰度值不一致的地方，则判定该待检测玻璃存在缺陷，且缺陷所在位置与图像中灰度值不一致的位置一一对应，即可以通过图像中灰度值不一致的位置定位出待检测玻璃缺陷所在位置。
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