[发明专利]一种玻璃表面缺陷检测系统及方法有效
申请号: | 201811418935.6 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN109297991B | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 李晓春 | 申请(专利权)人: | 深圳市麓邦技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 44384 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人: | 彭西洋;谢亮 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承载平台 检测 检测系统 深紫外光 玻璃 缺陷检测系统 深紫外光源 背景干扰 玻璃表面 专用相机 可见光光源 紫外光 玻璃缺陷 技术采用 倾斜照射 图像采集 准确率 正对 反射 光源 判定 照射 采集 发射 支撑 | ||
本发明公开一种玻璃表面缺陷检测系统及方法,其中检测系统包括承载平台、深紫外光源以及专用相机,其中承载平台用于支撑放置待检测玻璃;所述深紫外光源发射紫外光并倾斜照射所述承载平台上的待检测玻璃;所述专用相机安装于所述承载平台正上方并正对着所述承载平台表面,用于采集反射的深紫外光;利用上述检测系统的检测方法包括四个步骤:待检测玻璃安放;深紫外光照射;图像采集;判定待检测玻璃是否存在缺陷。本发明提供的检测系统及方法能够解决现有技术采用可见光光源检测玻璃缺陷会产生较大背景干扰的缺点,利用深紫外光光源进行检测,能够消除背景干扰,有效提高准确率。
技术领域
本发明涉及玻璃生产制造领域,特别涉及一种玻璃表面缺陷检测系统及方法。
背景技术
玻璃是结构上完全表现为长程无序的,性能上具有转变特性的非晶体态固体。一般的玻璃在制造时会加入碳酸钙,所以在紫外波段透光性减弱,尤其波长低于300nm的光完全不透。
随着社会的不断发展,科技工艺的不断进步,玻璃在各个领域的应用也越来越广泛,例如手机屏膜、激光器谐振腔、相机镜头、电子产品显示屏、眼镜镜片、卫星光学镜片。随着科技的发展,对玻璃的需求和要求也会进一步提高。但是,在玻璃生产过程中,由于生产工艺与其他方面的原因会在玻璃表面产生划痕、凸点等影响玻璃表面平整度的缺陷,影响玻璃的质量。所以如何快速有效地检测玻璃表面缺陷成为了亟待解决的问题。
传统的检测玻璃表面缺陷的方法主要是采用可见光光源对玻璃表面进行照射,然后用相机进行图像采集再处理。由于普通玻璃对可见光光源透明,这种方法抗干扰能力弱,对于背景要求高,使用场景较为苛刻。
因此,现有技术有待于改进。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本发明提供一种玻璃表面缺陷检测系统,具体方案如下:
包括承载平台、深紫外光源以及专用相机,其中承载平台用于支撑放置待检测玻璃;所述深紫外光源发射紫外光照射所述承载平台上的待检测玻璃;所述专用相机安装于所述承载平台正上方并正对着所述承载平台表面,用于图像采集。
优选地,所述深紫外光源的亮度可调,发射的深紫外光波长为200nm~400nm。
优选地,所述专用相机包括一个相机传感器,所述相机传感器前端设有滤光器,所述滤光器器用于屏蔽波长大于400nm的光。
优选地,所述相机传感器的硅衬底厚度为100um~300um。
优选地,所述相机传感器的硅衬底厚度为150um。
优选地,所述深紫外光源发光方向与所述承载平台的夹角大小为1°~90°。
优选地,所述深紫外光源发光方向与所述承载平台的夹角大小为90°,所述深紫外光源为中空结构的环形光源。
本发明还提供一种玻璃表面缺陷检测方法,采用上述玻璃表面缺陷检测系统,具体方案如下:
包括以下几个步骤:
待检测玻璃安放:将待检测玻璃于所述专用相机正下方平放于所述承载平台上;
深紫外光照射:打开所述深紫外光源使得深紫外光斜照射待检测玻璃表面;
图像采集:通过使用所述专用相机采集图像;
判定待检测玻璃是否存在缺陷:若相机采集到的图像灰度值处处相等,则判定该待检测玻璃质量合格;若图像存在灰度值不一致的地方,则判定该待检测玻璃质量存在缺陷,且缺陷所在位置与图像中灰度值不一致的位置一一对应,即可以通过图像中灰度值不一致的位置定位出待检测玻璃缺陷所在位置。
采用本发明的技术方案,具有以下有益效果:
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