[发明专利]一种提升连线LDI曝光效率的方法在审
| 申请号： | 201811421859.4 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110967933A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 何新荣;江奎;魏翠 | 申请（专利权）人： | 广东创辉鑫材科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 黎健任 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提升 连线 ldi 曝光 效率 方法 | ||
1.一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，步骤如下：
(1)将自动上板机、下板机的普通吸嘴更换为单向阀吸嘴；
(2)在进入LDI曝光机的曝光室入口处增加一个金属感应装置，不同料号的PCB板之间用隔板胶片隔开，当两个料号的PCB板之间的隔板胶片进入曝光室时，金属感应装置在感应到不是金属铜时，软件系统自动读取一下料号；
(3)修改工程资料，在PCB板外形四个边角上均增加一个对位孔；
(4)按照修改后的工程资料，利用钻机钻出对位孔；
(5)将上述钻孔后的PCB板，经贴干膜后进行曝光。
2.根据权利要求1所述的一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，所述步骤(2)中的金属感应装置为检测感应到金属的装置。
3.根据权利要求2所述的一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，所述步骤(2)中的隔板胶片为聚丙烯片。
4.根据权利要求3所述的一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，所述步骤(2)中的料号更改时间为2-6秒。
5.根据权利要求1所述的一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，所述单向阀吸嘴工作时在未吸到PCB板板面的单向阀吸嘴瞬间吸气时，吸嘴自动关闭。
6.根据权利要求2所述的一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，作用在PCB板板面的单向阀吸嘴起到吸板的作用，未吸到PCB板板面的单向阀吸嘴自动关闭，设备仍正常生产。
7.根据权利要求1所述的一种提升连线LDI曝光效率的方法，其特征在于，所述对位孔的直径为1.0mm。
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