[发明专利]一种中空旋转平台装置

权利要求书

1.一种中空旋转平台装置，其特征在于：包括单元平台(1)、轴承组件(2)、中空轴(3)、chuck(4)、锥齿轮A(5)、锥齿轮B(6)及电机(7)，其中中空轴(3)通过轴承组件(2)转动安装于单元平台(1)上，该中空轴(3)的一端与所述chuck(4)相连，另一端与负压源连接；所述电机(7)安装于单元平台(1)上，该电机(7)的输出轴连接有锥齿轮A(5)，所述中空轴(3)上安装有锥齿轮B(6)，该锥齿轮B(6)与所述锥齿轮A(5)相啮合；晶圆(11)放置在所述chuck(4)上，并通过所述负压源提供的真空被吸附于chuck(4)上。

2.根据权利要求1所述的中空旋转平台装置，其特征在于：所述电机(7)输出轴的轴向与中空轴(3)的轴向相垂直，即所述电机(7)通过锥齿轮A(5)与锥齿轮B(6)的啮合传动驱动中空轴(3)旋转，将横轴向转动转换成竖轴向转动。

3.根据权利要求1所述的中空旋转平台装置，其特征在于：所述中空轴(3)内部沿轴向开设有真空通道A(9)，该中空轴(3)的另一端设有真空接口(8)，所述中空轴(3)通过该真空接口(8)与负压源相连。

4.根据权利要求1所述的中空旋转平台装置，其特征在于：所述chuck(4)为内部中空结构，该中空结构的下部套设在所述中空轴(3)的一端、并与中空轴(3)连动，所述中空结构的上部为真空通道B(10)。

5.根据权利要求1所述的中空旋转平台装置，其特征在于：所述轴承组件(2)包括轴承座(201)、轴承、轴承端盖(205)及锁紧螺母(206)，该轴承座(201)安装在所述单元平台(1)上，中空轴(3)由所述轴承座(201)穿过，并通过轴承与轴承座(201)转动连接，所述轴承座(201)的下端固接有轴承端盖(205)，该轴承端盖(205)的中间设有与所述中空轴(3)螺纹连接的锁紧螺母(206)。

6.根据权利要求5所述的中空旋转平台装置，其特征在于：所述轴承包括上下设置的深沟球轴承(202)及角接触球轴承(204)，该深沟球轴承(202)与角接触球轴承(204)之间设有套在所述中空轴(3)上的中间套(203)；所述深沟球轴承(202)及角接触球轴承(204)的外圈通过轴承座(201)内壁上的止口及轴承端盖(205)轴向定位，该深沟球轴承(202)及角接触球轴承(204)的内圈通过中间套(203)及锁紧螺母(206)轴向定位。