[发明专利]膜形成方法、膜形成装置及形成有膜的复合基板

权利要求书

1.一种膜形成方法，其特征在于，

沿着基板表面的应形成膜的预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分，

向所述预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分，

在形成了所述框部分及所述粗涂布部分之后，向所述粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成所述框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成所述粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于所述粗涂布部分的间隙中的油墨固化，从而形成覆盖所述预定区域的整个区域的膜。

2.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在形成覆盖所述预定区域的整个区域的膜时，在使油墨液滴化并进行涂布之后，在油墨的不同液滴变得无法区分之后，使油墨固化。

3.根据权利要求1或2所述的膜形成方法，其特征在于，

所述框部分的形成及所述粗涂布部分的形成同步进行。

4.一种膜形成装置，其特征在于，具有：

工作台，保持基板；

喷墨头，与保持于所述工作台的基板对置，并向基板吐出经液滴化的油墨；

移动机构，使保持于所述工作台的基板和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动；

固化装置，使涂布于保持在所述工作台的基板上的油墨固化；

控制装置，存储有定义基板表面上的应形成膜的预定区域的位置及形状的图像数据，并且根据所述图像数据来控制所述喷墨头、所述移动机构及所述固化装置，从而在所述预定区域涂布油墨，

所述控制装置进行如下控制：

沿着所述预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分，

向所述预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分，

在形成了所述框部分及所述粗涂布部分之后，向所述粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成所述框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成所述粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于所述粗涂布部分的间隙中的油墨固化，从而形成覆盖所述预定区域的整个区域的膜。

5.根据权利要求4所述的膜形成装置，其特征在于，

所述控制装置还进行如下控制：在形成覆盖所述预定区域的整个区域的膜时，在使油墨液滴化并进行涂布之后，在油墨的不同液滴变得无法区分之后，使油墨固化。

6.根据权利要求4或5所述的膜形成装置，其特征在于，

所述控制装置还进行如下控制：使所述框部分的形成及所述粗涂布部分的形成同步进行。