[发明专利]膜形成方法、膜形成装置及形成有膜的复合基板

说明书

本发明提供一种能够减少膜表面的凹凸的膜形成方法。沿着基板表面的应形成膜的预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分。向预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分。在形成了框部分及粗涂布部分之后，向粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于间隙中的油墨固化，从而形成覆盖预定区域的整个区域的膜。

本申请主张基于2018年1月30日申请的日本专利申请第2018-013310号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种膜形成方法、膜形成装置及形成有膜的复合基板。

背景技术

已知有一种通过喷墨印刷法来形成蚀刻用的抗蚀剂膜的技术(下述专利文献1)。与利用旋涂法来形成抗蚀剂膜的方法相比，不需要光刻蚀工序，因此能够减少工序数量。

专利文献1：日本特开2010-56266号公报

为了使抗蚀剂膜针对蚀刻环境具有耐受性，其需要具有一定程度的厚度。若利用喷墨印刷法来形成抗蚀剂膜，则一般在抗蚀剂膜的表面上显现出反映油墨的液滴的原来形状的凹凸，抗蚀剂膜的厚度存在偏差。若使相对较薄的部分的抗蚀剂膜具有充分的蚀刻耐受性，则会导致相对较厚的部分的抗蚀剂膜变得过厚。因此，会白白消耗油墨。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够减少膜表面的凹凸的膜形成方法及膜形成装置。本发明的另一目的在于，提供一种形成有减少了膜表面的凹凸的膜的复合基板。

根据本发明的一种观点，提供一种膜形成方法，其中，

沿着基板表面的应形成膜的预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分，

向所述预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分，

在形成了所述框部分及所述粗涂布部分之后，向所述粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成所述框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成所述粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于所述粗涂布部分的间隙中的油墨固化，从而形成覆盖所述预定区域的整个区域的膜。

根据本发明的另一观点，提供一种膜形成装置，其具有：

工作台，保持基板；

喷墨头，与保持于所述工作台的基板对置，并向基板吐出经液滴化的油墨；

移动机构，使保持于所述工作台的基板和所述喷嘴头中的一个相对于另一个移动；

固化装置，使涂布于保持在所述工作台的基板上的油墨固化；

控制装置，存储有定义基板表面上的应形成膜的预定区域的位置及形状的图像数据，并且根据所述图像数据来控制所述喷墨头、所述移动机构及所述固化装置，从而在所述预定区域涂布油墨，

所述控制装置进行如下控制：

沿着所述预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分，

向所述预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分，

在形成了所述框部分及所述粗涂布部分之后，向所述粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成所述框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成所述粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于所述粗涂布部分的间隙中的油墨固化，从而形成覆盖所述预定区域的整个区域的膜。

根据本发明的又一观点，提供一种复合基板，其中，所述基板的表面具有：