[发明专利]蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备

权利要求书

1.一种蒸发源加热电导入装置，其特征在于，包括：

加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；

导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和

导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。

2.根据权利要求1所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述导电接头上设有容纳腔、导电条安装槽和导电条，其中：

所述容纳腔与所述导电条安装槽间隔设置；

所述容纳腔容纳所述导电调节杆的另一端部，以与所述导电调节杆的另一端部电连接；

所述导电条的一端部位于所述导电条安装槽内，用于与所述蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。

3.根据权利要求2所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述导电接头包括依次层叠的第一压板，第二压板和第三压板；

所述第一压板朝向所述第二压板的表面设置有第一容纳槽；

所述第二压板朝向所述第一压板的表面与第一容纳槽的对应处设置有第二容纳槽，以使所述第一容纳槽和所述第二容纳槽构成所述容纳腔；

所述第二压板朝向所述第三压板的表面形成有凹槽，以在所述第二压板和所述第三压板之间形成所述导电条安装槽。

4.根据权利要求3所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述导电条包括：

第一导电条，所述第一导电条的一端部穿设于所述导电条安装槽中；和

第二导电条，所述第二导电条设置于所述第一导电条的另一端部上，所述第二导电条朝向所述第一导电条的表面设置有凹槽，以在所述第一导电条与所述第二导电条之间形成电源输入端安装槽，所述电源输入端安装槽用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。

5.根据权利要求1所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述加热电极包括：

降温结构；和

接线金属件，所述降温结构设置于所述接线金属件的一端部，所述接线金属件的另一端部与所述导电调节杆的一端部电连接。

6.根据权利要求5所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述接线金属件的一端部向内凹陷形成第一腔体，所述降温结构包括：

三通接头，所述三通接头设置有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口用于与进液管路连接，所述第二接口与所述第一腔体连接，所述第三接口用于与出液管路连接，所述第二接口中设有与所述第三接口相通的液管容纳腔；和

冷却管，所述冷却管与所述第一接口连接，所述冷却管穿过所述液管容纳腔并伸入所述第一腔体中，所述冷却管与所述液管容纳腔的腔壁之间具有空隙，所述冷却管和所述第一腔体的腔壁之间具有空隙。

7.根据权利要求6所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述冷却管伸入所述第一腔体中的一端呈斜面状或喇叭口状。

8.根据权利要求6所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述接线金属件的另一端部设置有开口，所述导电调节杆的一端部向内凹陷形成有第二腔体，所述第一腔体延伸至所述开口处，并通过所述开口连通至所述第二腔体；

所述冷却管向所述开口的方向延伸，以使所述冷却管位于所述第一腔体中的一端伸入所述第二腔体中。

9.根据权利要求5所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述接线金属件的另一端部设有第一盲孔，所述导电调节杆的一端部设有第二盲孔，所述第一盲孔与所述第二盲孔连接。

10.根据权利要求9所述的蒸发源加热电导入装置，其特征在于，所述蒸发源加热电导入装置还包括：

紧固件，所述紧固件的内部设有通孔，所述紧固件通过所述通孔设于所述第一盲孔与所述第二盲孔的连接处，所述紧固件分别与所述第一盲孔的外壁和所述第二盲孔的外壁连接。