[发明专利]蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备

说明书

本发明提供蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备，该蒸发源加热电导入装置包括：加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。这样，可以使得蒸发源加热电导入装置具备较好的导电性能。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术，尤其涉及用于真空镀膜的蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备。

背景技术

真空蒸发镀膜是目前比较常用的一种镀膜工艺，其原理是在高温真空的环境中，通过加热装置将蒸发源加热到一定温度，以在衬底上沉积形成特定的膜层，从而达到镀膜的目的。其中，加热装置需要通过蒸发源加热电导入装置接入外部电源，从而实现对蒸发源加热。通常，现有的蒸发源加热电导入装置采用柔性线路方式，而这种蒸发源加热电导入装置在高温环境下的电阻率较高，导致传导的电流较小，从而使得导电性能较差。由此，现有的蒸发源加热电导入装置的导电性能较差。

发明内容

本发明的目的在于提供蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备，该蒸发源加热电导入装置解决了现有的蒸发源加热电导入装置的导电性能较差的问题。

为达上述目的，本发明提供一种蒸发源加热电导入装置，包括：

加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；

导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部连接；和

导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。

可选的，所述导电接头上设有容纳腔、导电条安装槽和导电条，其中：

所述容纳腔与所述导电条安装槽间隔设置；

所述容纳腔内容纳所述导电调节杆的另一端部，以与所述导电调节杆的另一端部电连接；

所述导电条的一端部位于所述导电条安装槽内，用于与所述蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。

可选的，所述导电接头包括依次层叠的第一压板，第二压板和第三压板；

所述第一压板朝向所述第二压板的表面设置有第一容纳槽；

所述第二压板朝向所述第一压板的表面与第一容纳槽的对应处设置有第二容纳槽，以使所述第一容纳槽和所述第二容纳槽构成所述容纳腔；

所述第二压板朝向所述第三压板的表面形成有凹槽，以在所述第二压板和所述第三压板之间形成所述导电条安装槽。

可选的，所述导电条包括：

第一导电条，所述第一导电条的一端部穿设于所述导电条安装槽中；和

第二导电条，所述第二导电条设置于所述第一导电条的另一端部上，所述第二导电条朝向所述第一导电条的表面设置有凹槽，以在所述第一导电条与所述第二导电条之间形成电源输入端安装槽，所述电源输入端安装槽用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。

可选的，所述加热电极包括：

降温结构；和

接线金属件，所述接线金属件的一端部设置有所述降温结构，所述接线金属件的另一端部与所述导电调节杆的一端部连接。

可选的，所述接线金属件的一端部向内凹陷形成有第一腔体，所述降温结构包括：