[发明专利]微阵列及其形成方法在审

专利信息
申请号: 201811428796.5 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN109839805A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 顾子琨;钟曜光;张钧豪 申请(专利权)人: 台湾生捷科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;C40B40/04;C40B40/06;C40B50/14
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 吴志红;臧建明
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 微型LED阵列 照射 固体基质 光敏感 微阵列 去保护 探针 移除 重复
【权利要求书】:

1.一种形成微阵列的方法,包括:

提供固体基质及微型LED阵列,其中所述固体基质包括对应于所述微型LED阵列的多个LED的多个区域;

在所述多个区域中分别形成具有光敏感保护基的单体;

照射所述多个区域中的至少一者,以移除所述多个区域中的所述至少一者中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的至少一者的LED;

将单体结合至所述多个区域中的所述至少一者中的经去所述光敏感保护基的所述单体;以及

重复所述照射与结合步骤,以分别在所述多个区域中形成探针。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述固体基质与具有所述光敏感保护基的所述单体之间形成连结官能基。

3.根据权利要求1所述的方法,其中在所述多个区域中分别形成具有光敏感保护基的单体的步骤包括:

分别在所述多个区域形成具有光敏感保护基的连结官能基;

照射所述多个区域中的至少一者,以移除所述多个区域中的所述至少一者中的所述连结官能基的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的至少一者的LED;以及

将具有所述光敏感保护基的所述单体结合至所述多个区域中的所述至少一者中的经去所述光敏感保护基的所述连结官能基。

4.根据权利要求1所述的方法,其中所述照射与结合步骤包括:

照射所述多个区域中的第一组,以移除所述多个区域中的所述第一组中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的所述第一组的LED;以及

将第一单体结合至所述多个区域中的所述第一组中的经去所述光敏感保护基的所述单体。

5.根据权利要求4所述的方法,还包括:

照射所述多个区域中与所述第一组不同的第二组,以移除所述多个区域中的所述第二组中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的所述第二组的LED;以及

将与所述第一单体不同的第二单体结合至所述多个区域中的所述第二组中的经去所述光敏感保护基的所述单体。

6.根据权利要求1所述的方法,其中所述微型LED阵列配置于将形成探针于其上的所述固体基质的表面上。

7.根据权利要求1所述的方法,其中所述固体基质的所述多个区域分别位于所述微型LED阵列的所述多个LED的正上方。

8.根据权利要求1所述的方法,其中所述固体基质包括位于所述多个区域中的多个图案。

9.根据权利要求1所述的方法,其中所述固体基质的表面经烷基化。

10.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述固体基质的所述多个区域之间形成挡光分隔件。

11.根据权利要求1所述的方法,其中所述单体为核苷酸或胺基酸。

12.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述固体基质与所述微型LED阵列之间配置微透镜阵列,其中所述微透镜阵列对应于所述固体基质的所述多个区域配置。

13.根据权利要求1所述的方法,还包括对准所述固体基质的所述多个区域与所述微型LED阵列的所述多个LED。

14.根据权利要求1所述的方法,其中所述固体基质为配置于所述微型LED阵列上的微透镜阵列。

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