[发明专利]微阵列及其形成方法在审

专利信息
申请号: 201811428796.5 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN109839805A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 顾子琨;钟曜光;张钧豪 申请(专利权)人: 台湾生捷科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;C40B40/04;C40B40/06;C40B50/14
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 吴志红;臧建明
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 微型LED阵列 照射 固体基质 光敏感 微阵列 去保护 探针 移除 重复
【说明书】:

发明提供一种微阵列及其形成方法,且其形成方法包括以下步骤。提供固体基质及微型LED阵列,其中所述固体基质包括对应于所述微型LED阵列的多个LED的多个区域。在所述多个区域中分别形成具有光敏感保护基的单体。照射所述多个区域中的至少一者,以移除所述多个区域中的所述至少一者中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的至少一者的LED。将单体结合至所述多个区域中的所述至少一者中的所述经去保护基的单体。重复所述照射与结合步骤,以分别在所述多个区域中形成探针。

技术领域

本发明涉及一种微阵列及其形成方法,尤其涉及一种微阵列及不需要使用光罩的微阵列的形成方法。

背景技术

包括合成探针的微阵列被广泛地应用于基因体学、蛋白质体学、药学的研究与临床检测。为了能获得高准确度与高可靠度的微阵列检测结果,微阵列的品质(也就是合成探针的品质)相当重要。

近年来,可通过光合成法于固体基质上形成探针。为了于固体基质上形成多个探针,需要使用大量不同且专用的光罩,且因此需要在光合成期间替换光罩。然而,这些光罩很昂贵且替换光罩很耗时,导致形成微阵列的成本很昂贵。

发明内容

本发明提供一种不需要使用光罩来形成微阵列的方法。

本发明另提供一种具有微型LED阵列的微阵列。

本发明的形成微阵列的方法包括以下步骤。提供固体基质及微型LED阵列,其中所述固体基质包括对应于所述微型LED阵列的多个LED的多个区域。在所述多个区域中分别形成具有光敏感保护基的单体。照射所述多个区域中的至少一者,以移除所述多个区域中的所述至少一者中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的至少一者的LED。将单体结合至所述多个区域中的所述至少一者中的所述经去保护基的单体。重复所述照射与结合步骤,以分别在所述多个区域中形成探针。

在本发明的一实施例中,上述的方法还包括在所述固体基质与具有所述光敏感保护基的所述单体之间形成连结官能基。

在本发明的一实施例中,上述的在所述多个区域中分别形成具有光敏感保护基的单体的步骤包括:分别在所述多个区域形成具有光敏感保护基的连结官能基;照射所述多个区域中的至少一者,以移除所述多个区域中的所述至少一者中的所述连结官能基的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的至少一者的LED;以及将具有所述光敏感保护基的所述单体结合至所述多个区域中的所述至少一者中的所述经去保护基的连结官能基。

在本发明的一实施例中,上述的照射与结合步骤包括:照射所述多个区域中的第一组,以移除所述多个区域中的所述第一组中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的所述第一组的LED;以及将第一单体结合至所述多个区域中的所述第一组中的所述经去保护基的单体。

在本发明的一实施例中,上述的方法还包括照射所述多个区域中与所述第一组不同的第二组,以移除所述多个区域中的所述第二组中的所述单体的所述光敏感保护基,其中所述照射是通过开启所述微型LED阵列中的对应于所述多个区域中的所述第二组的LED;以及将与所述第一单体不同的第二单体结合至所述多个区域中的所述第二组中的所述经去保护基的单体。

在本发明的一实施例中,上述的微型LED阵列配置于将形成探针于其上的所述固体基质的表面上。

在本发明的一实施例中,上述的固体基质的所述多个区域分别位于所述微型LED阵列的所述多个LED的正上方。

在本发明的一实施例中,上述的固体基质包括位于所述多个区域中的多个图案。

在本发明的一实施例中,上述的固体基质的表面经烷基化。

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