[发明专利]数字X射线检测器的阵列基板和数字X射线检测器

权利要求书

1.一种用于数字X射线检测器的阵列基板，包括：

基础基板；

多个薄膜晶体管，其设置在所述基础基板上方；

多个PIN二极管，每个PIN二极管包括连接至所述多个薄膜晶体管中的与该PIN二极管对应的薄膜晶体管的下电极、设置在所述下电极上方的PIN层和设置在所述PIN层上方的上电极；

保护层，其设置在所述多个PIN二极管上方；

偏置线；以及

从所述偏置线延伸的多个偏置电极，其中，每个偏置电极连接至所述多个PIN二极管中的与该偏置电极对应的PIN二极管的上电极且设置在所述保护层上方，并且该偏置电极被设置成覆盖所述PIN二极管的外周表面，

其中，每个偏置电极包括闭环结构，以及

其中，所述闭环结构包括中空部。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其中，所述偏置电极通过形成在所述上电极的边缘处的所述保护层的接触孔连接至所述上电极。

3.根据权利要求1所述的阵列基板，其中：

所述偏置电极包括闭环部分和从所述闭环部分的一端延伸的接触延伸部分，

其中，所述接触延伸部分直接接触所述上电极。

4.一种数字X射线检测器，包括：

基础基板，

多条栅极线和多条数据线，所述多条栅极线和所述多条数据线在所述基础基板上方被设置成彼此交叉，以便限定多个像素区域，

多个薄膜晶体管，其分别设置在所述多个像素区域中，

多个PIN二极管，每个PIN二极管包括连接至所述多个薄膜晶体管中的与该PIN二极管设置在相同像素区域中的薄膜晶体管的下电极、设置在所述下电极上方的PIN层和设置在所述PIN层上方的上电极，

保护层，其设置在所述多个PIN二极管上方，

多条偏置线，其中，从所述多条偏置线中的每条偏置线延伸有多个偏置电极；以及

闪烁器，其设置在所述多个偏置电极上方，

其中，每个偏置电极连接至所述多个PIN二极管中的与该偏置电极对应的PIN二极管的上电极且设置在所述保护层上方，并且该偏置电极被设置成覆盖所述PIN二极管的外周表面，

其中，每个偏置电极包括闭环结构，以及

其中，所述闭环结构包括中空部。

5.根据权利要求4所述的数字X射线检测器，其中，所述偏置电极通过形成在所述上电极的边缘处的所述保护层的接触孔连接至所述上电极。

6.根据权利要求4所述的数字X射线检测器，其中：

所述偏置电极包括闭环部分和从所述闭环部分的一端延伸的接触延伸部分，

其中，所述接触延伸部分直接接触所述上电极。

7.根据权利要求4所述的数字X射线检测器，其中，所述多条偏置线与所述数据线并行设置且与所述数据线间隔开。

8.根据权利要求7所述的数字X射线检测器，其中，每条偏置线沿着与该偏置线对应的所述PIN层的边缘的一端布置。