[发明专利]数字X射线检测器的阵列基板和数字X射线检测器

说明书

公开了一种用于数字X射线检测器的阵列基板和包括该阵列基板的数字X射线检测器。阵列基板有效地保护PIN二极管免受外部湿气或水的影响，使PIN二极管的光透射区域最大化，并且通过使偏置布线的区域最大化来减小电阻。为此，使用被形成为覆盖PIN二极管的外周表面的闭环偏置电极。具体地，偏置电极包括闭环部分和接触延伸部分。该接触延伸部分从闭环部分的一端延伸以直接接触上电极，并且闭环偏置电极包括中空部。

技术领域

本公开涉及用于数字X射线检测器的阵列基板和包括该阵列基板的数字X射线检测器。

背景技术

数字X射线检测器(DXD)是指能够检测传递通过对象的X射线的透射量(例如，透射率)并在显示器上显示对象的内部图像的设备。随着数字技术的快速发展，最近已经开发了基于薄膜晶体管(TFT)的数字X射线检测器并迅速得到医疗使用。

一般地，数字X射线检测器通常根据其尺寸或分辨率被设计成具有数千或数万个像素或更多像素。参照图1和图2，用于数字X射线检测器的阵列基板10的每个单元可以包括：设置在基础基板11上方的薄膜晶体管20、连接至薄膜晶体管20的PIN二极管30以及设置在阵列基板10上方的闪烁器(scintillator)50。

当X射线被发射到数字X射线检测器1时，闪烁器50将入射的X射线转换为可见光，使得可见光被传送至包括下电极31、PIN层33和上电极35的PIN二极管30。

施加到PIN二极管30的可见光在PIN层33中被重新转换为电子信号。该电子信号在传递通过连接至PIN二极管30的下电极31的薄膜晶体管20之后被转换为图像信号，使得所得到的图像信号被显示在显示器上。

同时，为了驱动PIN二极管30，用于向PIN二极管30施加电压的偏置电极40可以连接至PIN二极管30，并且偏置电极40可以设置在PIN二极管30上方，使得偏置电极40连接至PIN二极管30的上电极35。

在这种情况下，优选地，PIN二极管30获得最大光透射区域，以便从上部接收最大量的入射光。为此，偏置电极40通常被图案化，以仅占据PIN二极管30的上部的恒定区域。

然而，常规数字X射线检测器的阵列基板具有以下缺点。

首先，由于PIN二极管的PIN层非常容易受到外部湿气或水的影响，因此保护PIN层免受外部湿气或水的影响是重要的。然而，常规结构难以防止外部湿气或水渗透到PIN层的侧面。

尽管形成为覆盖PIN二极管的保护层可以用作防水作用的一部分，但是保护层需要具有更大的厚度或者由适于防水的材料形成，使得保护层可以有效地防止水渗透。然而，包括上述保护层的数字X射线检测器的总厚度不可避免地增加，或者选择保护层的构成材料的范围受到很大限制。

第二，从偏置线延伸的偏置电极连接至PIN二极管的上电极，并且偏置线被设置成通过PIN二极管的上部的一些区域，使得偏置线部分地覆盖PIN二极管的中心部分，从而导致PIN二极管的光透射区域减小。

第三，为了获得PIN二极管内的最大透射区域，设想偏置线的厚度减小以使PIN二极管的被偏置线覆盖的区域最小化，使得偏置线的尺寸最小化，偏置线的总电阻不可避免地增加。

发明内容

因此，鉴于上述问题已经做出了本公开，并且本公开的目的是提供一种有效地保护PIN二极管免受外部湿气或水的影响的用于数字X射线检测器的阵列基板以及包括该阵列基板的数字X射线检测器。

本公开的另一目的是提供一种使PIN二极管的光透射区域最大化的用于数字X射线检测器的阵列基板以及包括该阵列基板的数字X射线检测器。

本公开的另一目的是提供一种通过使偏置布线的区域最大化来减小电阻的用于数字X射线检测器的阵列基板以及包括该阵列基板的数字X射线检测器。