[发明专利]一种PZT驱动微间隙标准具制作方法

权利要求书

1.一种PZT驱动微间隙标准具制作方法，其特征在于：其包括以下步骤：

1）刻槽：利用飞秒激光分别在第一光纤的右侧端面、第二光纤的左侧端面和第三光纤的左侧端面刻蚀出第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽；

2）制光学表面：通过微熔或者抛光分别将第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽的表面制成光学级的光学表面；

3）镀膜：分别在第一微平凹槽的光学表面和第二光纤的右侧端面镀AR膜，并分别在第二微平凹槽和第三微球形凹槽的光学表面镀HR膜；

4）抛光：对第一光纤的右侧端面进行抛光以去除第一微平凹槽之外的AR膜，对第二光纤的左侧端面进行抛光以去除第二微平凹槽之外的HR膜，并对第三光纤的左侧端面进行抛光以去除第三微球形凹槽之外的HR膜；

5）熔接：将抛光后的第一光纤的右侧端面与第二光纤的左侧端面熔接成一体，并使得第一微平凹槽的AR膜和第二微平凹槽的HR膜位于光路上；

6）制具：将第三光纤的左侧端面间隙设置在第二光纤的右侧端面，并使第三微球形凹槽的HR膜和第二微平凹槽的AR膜位于光路上，所述第三光纤连接在PZT驱动器上，由PZT驱动器带动沿光路方向微移动以微调节间隙大小，制得光纤标准具；其中，所述第二微平凹槽的HR膜面与第三微球形凹槽的HR膜面构成平凹结构光纤标准具的谐振腔。

2.根据权利要求1所述的一种PZT驱动微间隙标准具制作方法，其特征在于：步骤2）中，通过加热烘烤或者激光聚焦分别使得第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽的表面微熔，依靠表面张力形成光学级的光学表面。

3.根据权利要求1所述的一种PZT驱动微间隙标准具制作方法，其特征在于：步骤2）中，通过软抛光垫分别将第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽的表面抛光成光学级的光学表面。

4.根据权利要求1所述的一种PZT驱动微间隙标准具制作方法，其特征在于：步骤5）中，将抛光后的第一光纤的右侧端面与第二光纤的左侧端面采用光纤熔接机熔接成一体。